半导体电性异常与制程的关系

半导体电性异常与制程的关系,第1张

半导体电性异常与制程的关系如下。一种半导体器件的制造方法,获取预处理半导体结构,预处理半导体结构包括具有第一暴露面的金属层,金属层第一暴露面具有凸起部。在金属层第一暴露面设置保护层,保护层至少覆盖金属层除凸起部以外的其它部分。去除凸起部以在金属层上形成金属层的第二暴露面。在第一暴露面的所在区域上形成介质层,且介质层完全覆盖第一暴露面的所在区域。本发明提供的半导体器件的制造方法通过在金属层除凸起部的其它部位上覆盖保护层保护金属层。蚀刻掉凸起部,对半导体器件的金属层表面进行修整,避免凸起部影响半导体器件的后续制程,在金属层上覆盖保护层,使得半导体器件的表面平整,更有利于半导体器件的后续制程,方法简单,便于实施。

半导体parts异常下机原因分析如下:

1、封装失效,当管壳出现裂纹时就会发生封装失效。机械应力、热应力或封装材料与金属之间的热膨胀系数失配可使裂纹形成。当湿度较高或器件接触到焊剂、清洁剂等物质时,这些裂纹就成为潮气入侵管壳的通路。化学反应可使器件劣化,从而导致器件失效。

2、线键合失效,因大电流通过造成的热过应力、因键合不当造成的键合引线上的机械应力、键合引线与芯片之间的界面上的裂纹、硅的电迁移以及过大的键合压力都会造成引线键合失效。

3、芯片粘结失效,芯片与衬底之间接触不当可降低它们之间的导热性。因此,芯片会出现过热,从而导致应力加大和开裂,最终使器件失效。

4、体硅缺陷,有时候,晶体缺陷引起的故障或硅体材料中的杂质和玷污物的存在也会使器件失效。器件生产期间由扩散问题引起的工艺缺陷也会使器件失效。

5、氧化层缺陷静电放电和通过引线扩展的高压瞬变可使薄氧化层即绝缘体击穿,并导致器件失灵。氧化层的裂纹和或划痕以及氧化物中杂质的存在也能使器件失效。

6、铝的金属缺陷。


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