半导体用的石英管为什么需要低铝含量

半导体用的石英管为什么需要低铝含量,第1张

半导体中,石英管通常用于高温环境下的热氧化或热扩散。要求低铝含量的原因如下:

1、热氧化热扩散主要是半导体器件形成源漏结的关键步骤,不能有金属离子污染。

2、高温环境可达1000多摄氏度,铝容易硅化,会造成器件结区损伤,容易漏电。

石英石可以做半导体。

石英石矿应用于传统光源、光纤光缆等行业,是我们较为常见的应用领域,然而随着高端半导体及光伏领域市场不断的迈进,石英石矿应用高端化需求持续扩容,高端石英石矿应有成为国家战略性产业和支柱性产业发展进步过程中不可替代的作用。

石英产品处于半导体工艺中的关键地位,只有通过AMAT、LAMResearch、TEL等半导体设备商的资质认证的供应商产品,才有资格进入对方供应链采购目录,所以产品认证通过与否是下游是否能够大规模放量,提升渗透率的核心要素。


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