物理
D IOP出版的学报： 应用物理学
J。 Phys。 D ： Appl. Phys。 41 (2008) 015005 (5pp)
doi ：10.1088/0022-3727/41/1/015005
TiO2铁磁性摄制
肖?张， Weihua Wang， Luyan李， Yahui城， Xiaoguang罗和
电子，
学院信息技术科学， Nankai大学，天津300071，中华人民共和国
电子邮件的惠Liu1部门
： liuhui@nankai.edu.cn
接受了2007年10月15日，以最后的形式2007日在网上出版
12月12日2007日在
stacks.iop.org/JPhysD/41/015005 11月的9日
抽象
多晶的哥斯达黎加被掺杂的TiO2films由co飞溅哥斯达黎加和TiO2目标和O2混合物
在纯净的Ar制造以各种各样的氧气分压。 铁磁性在所有
样品被观察，并且居里温度很好在390 K.之上。 影片的饱和磁化
显示对氧气成长压力的强的依赖性，当保留恒定的哥斯达黎加
含量时。 铁磁性在影片被提高被放置以因而
是氧气短少的更低的氧气压力，表明氧气空位的一个重要角色在
哥斯达黎加被掺杂的TiO2的铁磁起源。
(有些图在这篇文章上在仅颜色在电子版本)
1. 介绍
从在室温铁磁性的发现上在
Co被掺杂的anatase TiO2 [1]，这在所谓的spintronic设备有
成为的一个战胜的焦点在
材料学领域为转折金属被掺杂的被稀释的
磁性半导体(DMSs)的研究，由于他们
潜在的应用。 设备的这新一代有不挥发性
、更高的数据处理速度、更低的电力的消耗量
和增加的综合化密度的好处
，比较常规
半导体装置[2]。 迄今，许多努力为
查寻在宽被结合的二氧化物半导体被执行了高居里温度
(TC)铁磁性例如TiO2， ZnO和
SnO2，服用Co、Ni、哥斯达黎加、Mn和V [1-11]。 然而，
查寻高居里温度(TC)铁磁性在
宽被结合的二氧化物半导体例如TiO2， ZnO和
SnO2，服用Co、Ni、哥斯达黎加、Mn和V [1-11]。 然而，
变化在过程中在样品成长和岗位
成长期间互相使实验性结果相当
矛盾。当一些研究工作表明时
铁磁性在DMSs起源于次要
阶段金属在它成群[9， 10]，其他小组报道
铁磁性是内在的以缺乏这样
沉淀物[1-8]。 理论上，几个模型
用于解释铁磁性用DMSs的不同的类型。
例如，经常被援引的Ruderman-Kittel-Kasuya-
Yosida (RKKY)类型为Mn解释的模型： GaAs DMS
根据sp-d交换在sp巡回载体
和转折金属掺杂的元素之间[12的]地方
d状态。 Superexchange、双交换和交换通过
一定的磁性polarons (BMPs)也被祈求
解释铁磁命令在室温
[3之上]。 而且， Coey等[13]在氧化物延伸BMPs
入F中心斡旋的BMPs (FC BMPs)模型
解释高TC铁磁性。在转折金属被掺杂的DMSs之中，基于TiO2的
DMSs由于他们的特别多种潜在的应用
在光电探测器、催化剂、太阳能电池、消毒器具在
医院，防护涂层和透明举办的电极
广泛被学习了。 此外， TiO2 anatase结构的
格子是合理地搭配得不错的与Si，
做它一名头等候选人为未来综合化用基于Si的
设备[3]。 到现在，高TC铁磁性在基于TiO2的
DMSs一般认为一种内在现象
[13， 14]。
并且它现在知道被掺杂的过渡金属的
磁矩强烈取决于准备
方法和条件，即使仍然没有确定
协议，关于DMSs磁性的本质
由不同的方法和不同的小组现在准备了。
最近，它被发现结构瑕疵在铁磁性的
起源在nano-和唯一水晶哥斯达黎加扮演一个重要
角色： TiO2 DMS系统[3,4]。 一定数量的
实验工作表示，有铁磁
行为和与氧气相关的点瑕疵之间的一种
接近的交互作用在基于TiO2的DMSs [15， 16]。所以，
除理解铁磁性的微观起源以外
在DMSs，提供具体准备
情况和DMSs之间磁性行为的更加详细的
交互作用也是非常重要的。
在这项研究，多晶的CrxTi1 O2影片以哥斯达黎加
含量x = 0.05由co飞溅哥斯达黎加
和TiO2目标在一个纯净的Ar和O2混合物制造。 各种各样的
氧气分压(PO2)在哥斯达黎加被掺杂的TiO2影片
用于改变氧气空位的集中。
密切关系在铁磁性和氧气压力之间
被找到，表明氧气空位的一个重要角色在
哥斯达黎加被掺杂的TiO2铁磁性。
2.Experiment
多晶的Cr0.05Ti0.95O2 ？lms由co飞溅
哥斯达黎加(99.99制造 基体转动在30转每分钟在证言期间
，并且从目标的距离到基体约为
16 cm。TiO2目标的RF飞溅力量
被保留了在300 W。 影片在玻璃和kapton基体
被放置了为结构和磁性的测量
，分别。 基体温度被保留了
在400 ?С在证言期间。？lm厚度
被保留了在~200毫微米并且取决于Ambios XP-2TM
表面赞成锉刀。 作为这些样品构成和
生长率改变用不同的氧气压力，在
哥斯达黎加目标申请的dc飞溅力量必须被改变
在8-13 W之内为了得到用不同的哥斯达黎加含量
Cr0.05Ti0.95O2.36的有名无实的构成(
0.03 <x<0.07)的多晶的CrxTi1 O2影片
被放置在另外氧气分压下(即。 0， 0.04，
0.08和0.16 Pa)。X-射线光电子分光学分析
哥斯达黎加原子分数((XPS)多技术
式样S600)和X-射线fiuorescence分光学((XRF)，
Magix PW2403)。在本文描述的样品的
哥斯达黎加含量在x ~ 0.050 ±之内0.003的范围
。 影片的微结构描绘的
是为X-射线衍射计((XRD) Philips x’计划评审技术赞成， Cu Kα)
和传输电子显微镜术((TEM) JEOL 2010)。
磁性在温度范围
5-395 K被测量了使用量子设计有形资产
测量系统(PPMS-9)装备一个振动的
样品磁力仪(VSM)和一个superconducting的量子
干涉设备(乌贼)磁力仪(MPMS-5S)。影片的光学透射率由一个
紫外可看见的分光光度表(Shimadz 3101个人计算机)测量。
电子输运性质使用口音HL-5550PC
系统被测量了。
3. 结果和讨论
图1显示准备的XRD范围Cr0.05Ti0.95O2
影片用(a) 0 Pa不同的PO2， (b) 0.04 Pa、(c) 0.08 Pa和
(d) 0.16 Pa。 anatase的标准绕射图(坚实)和
金红石(该死的) TiO2也显示。
第二章
图1。 XRD样式(日志称)的Cr0。 05Ti0.95 O2影片
准备在另外PO2之下。 样品的所有高峰位置
对应于anatase的标准绕射图或TiO2
金红石结构。 对应于哥斯达黎加
或哥斯达黎加二氧化物的衍射峰顶在表1不存在，表明
可发现其他阶段不存在于哥斯达黎加： TiO2影片。 它能从
图1也被看见全宽在衍射峰顶的半
最大值平稳地变宽，当PO2减少，表明
在颗粒状大小的减退。 TEM测量
进行为了让进一步洞察进入哥斯达黎加被掺杂的TiO2
影片微结构。 图2显示Cr0.05Ti0.95O2样品的
高分辨率TEM图象与PO2 = 0.04和
0.08 Pa。 它能被看见影片的平均粒径
与PO2 = 0.04 Pa约为7.0毫微米。然而，当PO2
增加到0.08 Pa，平均粒径增加到
9.8毫微米，趋向是与XRD结果符合。
曲线在表3提出了是Cr0.05Ti0.95O2典型的
磁化圈？lms被放置在另外PO2之下在
室温。 样品是全部铁磁的以
清楚地hysteretic行为。 它知道哥斯达黎加金属是
顺磁的在高温度和antiferromagnetic在以下
308 K。 唯一的铁磁哥斯达黎加二氧化物是CrO2以TC
386 K和女士= 2.03 μB/Cr。
要歧视内在
铁磁性从那些哥斯达黎加或哥斯达黎加二氧化物，哥斯达黎加被掺杂的TiO2
样品零的领域冷(ZFC)和领域冷的(FC
)磁化曲线被计量从5到390 K
作为以下做法。样品在
零的领域首先冷却了从390到5 K，然后0.5 kOe
磁场是应用的，并且磁矩记录了
以增加从5的温度到390 K获得
ZFC曲线。 然后样品从390冷却了到5 K
在0.5 kOe之下的同一个领域。 在那以后，
磁矩记录了以增加从5的
温度到390 K获得FC曲线。
上部插页在表3
显示Cr0.05Ti0.95O2样品的代表的ZFC/FC
与PO2 = 0 Pa。 它能被看见清楚的分歧
在ZFC和FC曲线之间存在390 K，
显露Cr0.05Ti0.95O2样品的TC很好在
390 K.之上。 获得的TC表明Cr0.05Ti0.95O2影片
铁磁性不是从CrO2群并且
排除其他可能的铁磁贡献从
反铁磁性阶段，例如哥斯达黎加(与Neel
′温度， TN ≈ 311 K)和Cr2O3 (TN ≈ 308 K)。
图3。 Cr0的计划看法HREM图象。 Ti0. O2样品
准备在另外PO2之下： (a) 0.04 Pa和(b) 0.08 Pa。
图3。 Cr0滞后回线。 Ti0. O2 ？lms被放置下面
PO2 = 0， 0.04和0.08 Pa在300 K。 上部插页显示
ZFC/FC曲线为？lms与PO2 = 0 Pa测量了在0.5 kOe。
底下插页显示饱和的磁化曲线对
PO2在300 K。另一个重要特点在表3是
有名无实的饱和的磁化是~0.42 μB/Cr与
PO2 = 0 Pa，单调地减少对~0.09 μB/Cr
PO2 = 0.16 Pa。 Cr0.05Ti0.95O2影片的磁化
显示对PO2的强的依赖性，如被说明在底下
插页？gure 3。 这行为表明PO2在
飞溅过程中在哥斯达黎加TiO2系统的铁磁起源
扮演一个重要角色。它能从Cr0.05Ti0.95O2影片矫顽性减少以增加的颗粒状大小
的图3也被看见。
根据Arcas等，
所有铁磁样品矫顽性与
有效的magnetocrystalline各向异性现象恒定的K和
自发磁化女士有关通过联系[17]
HC = pK/Ms， (1)
那里p是取决于磁化过程的特殊
类型的一个无维的因素。 例如，
琢石者Wohlfarth模型给p = 2为noninteracting唯一
领域磁性粒子以单轴的磁性各向异性现象
[18的]理想。 你能从惯例(1)看K和
女士罐头？uence矫顽性。 为Cr0.05Ti0.95O2影片在
这项研究中，饱和的磁化改变与PO2和
因而以粒度。 所以，为了消灭
在女士fiuence在粒度依赖矫顽性的研究，
我们使用各向异性现象恒定的K ∝ HCMs作为显示
而不是HC.Figure 4展示依赖各向异性现象恒定
为Cr0.05Ti0.95O2影片放置在另外PO2之下
的粒度。 它能被看见各向异性现象常数
增加以越来越少的粒度，近似地以下
K ~ 1/D行为，可以解释用领域墙壁
pinningatgrainboundarieswhichbecomesprogressivelymore
高效率，当晶界的体积分数增加
[19,20]。 因此，被观察的1/D依赖性建议在
磁化方向上的变化通过过程仍然发生
相似与领域墙壁行动在大小下来到6毫微米，
在nano被构造的磁性金属报告的那小于
[20]。 然而，作为DMSs和nano被称的铁磁磁铁
磁性是复杂，
详述的研究工作应该执行为了
揭露粒度相关的磁性在转折
金属被掺杂的DMSs。最近，理论研究建议氧气
空位在电子结构在Co-有一伟大
在fiuence和铁磁性， Fe-， Cu掺杂了anatase和金红石
TiO2 [21-24]。 并且故意的总能表明
在过渡金属附近位于的氧气空位比那
近的钛稳定。 结果，转折金属原子
易于夺取空位电子，在
费密水平附近将改变总密度状态和因而导致
铁磁性的改进。 基于以上提到的
基本的框架，铁磁性在我们的哥斯达黎加被掺杂的
TiO2 ？lms可以把归咎到氧气空位。 不用氧气
出现在证言期间，在哥斯达黎加被掺杂的
TiO2应该有大量氧气空位？lm. 所以，
磁化是大。 在更高的PO2之下，氧气
空位部份地将补偿，导致氧气
空位的减少。如此总值磁化
减少与增加的PO2，如所显示？gure 3。 我们的
结果于最近报告也是相似的关于Ni被掺杂的TiO2
[25]和Fe被掺杂的TiO2 [26]，氧气空位
可能通过焖火大气的 *** 作的地方
被斡旋。 此外，演算也表示，
转折金属原子和氧气空位之间的互作用
敏感地取决于他们之间的距离[21-24]。 如果
空位是进一步除转折金属原子之外，它
？在磁化最终将减少uence或
被减少了。 比较实验和演算
结果，平均磁矩每个哥斯达黎加原子在这里
氧气穷的样品在一个更低的范围。 这也许
部份地归结于氧气空位的相对地点，
不在转折金属原子最近的附近状态
。图5 (a)显示传输范围哥斯达黎加被掺杂的
TiO2影片被放置在另外PO2之下。 范围
影片显示挥动类型波纹，是光的干涉的
特征。 影片的transmittances
与更高的PO2那高于与更低的PO2。 当
波长到达紫外范围，由于
根本吸收在带隙附近，
透射率尖锐减少。 它能被看见
吸收端单调地转移到更短的波长，当PO2
增加，关联与在光学带隙上的
变化(即)。 即可以是坚定的从
吸收系数α被计算作为事件光子能量
E (hv) [27,28功能] ：
αhν = B (hν -即) 2， (2)
那里B是在被放置的影片关联以水晶结构
命令的常数。然后，即能
通过外推线性部分获得到光子
能量轴，如图5 (b)所显示。 获得即
哥斯达黎加被掺杂的TiO2 ？lm没有氧气是~3.33 eV，与
DeLoach报告的价值是定量地一致的
等[29]。 它能从即增加与增加的PO2的插页图也
被看见5 (b)。
电子测量表示，所有样品霍尔系数的
标志是正面的在室温，
建议孔统治传输机制。
然而，所有样品被放置在另外PO2之下
高度绝缘以价值在我们的仪器附近
测量极限>1011 /square的薄层电阻。
因此，抵抗力大于~106cm为考虑
厚度~200毫微米的所有样品。 我们的样品电介质
状态于最近报告是相似的关于转折金属
被掺杂的TiO2 [25,26]。4. 结论
总而言之，多晶的Cr0.05Ti0.95O2影片
由co飞溅方法准备在另外PO2之下。
铁磁性在所有样品很好被观察以TC在
390 K.之上。 影片的饱和磁化显示对
氧气成长压力的强的依赖性，当保留
恒定的哥斯达黎加含量时。 铁磁性在
影片被提高被放置以因而是氧气短少
的更低的氧气压力，表明氧气空位的一个重要角色
在哥斯达黎加被掺杂的TiO2的铁磁起源。
承认
这工作由节目在大学(NCET-04-0244
)和以下津贴支持为新的世纪
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(R
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XPS 的样品一般是 10mm*10mm*5mm, 也可以更小些。厚度不能超过 5mm. XPS 分析室的真空度可以达到<10-9 Pa, 因此样品要干燥，不能释放气体。XPS的灵敏度很高，待测样品表面，绝对不能用手，手套接触，也不要清洗。
一
发展历史
XPS理论首先是由瑞典皇家科学院院士、乌普萨拉大学物理研究所所长 K·Siebahn 教授创立的。原名为化学分析电子能谱: ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)。
1954年研制成世界上第一台双聚焦磁场式光电子能谱仪。
XPS是一种对固体表面进行定性、定量分析和结构鉴定的实用性很强的表面分析方法。
现今世界上关于XPS的刊物主要有：Journal of Electron Spectroscopy. Related Phenomena.
企业包括：PHI公司，VG公司，Karatos 公司
发展方向：单色化，小面积，成像XPS
二
功能与特点
（1）定性分析--根据测得的光电子动能可以确定表面存在哪些元素，
a. 能够分析出了氢，氦以外的所有元素，灵敏度约0.1at%。 空间分辨率为 100um, X-RAY 的分析深度在 1.5nm 左右。
b. 相隔较远，相互干扰较少，元素定性的相邻元素的同种能级的谱线标识性强。
c. 能够观测化学位移，化学位移同原子氧化态、原子电荷和官能团有关。化学位移信息是利用XPS进行原子结构分析和化学键研究的基础。
（2）定量分析--根据具有某种能量的光电子的强度可知某种元素在表面的含量，误差约20%。既可测定元素的相对浓度，又可测定相同元素的不同氧化态的相对浓度。
（3）根据某元素光电子动能的位移可了解该元素所处的化学状态，有很强的化学状态分析功能。
（4）由于只有距离表面几个纳米范围的光电子可逸出表面，因此信息反映材料表面几个纳米厚度层的状态。
（5）结合离子溅射可以进行深度分析。
（6）对材料无破坏性。
（7）由于X射线不易聚焦, 照射面积大,不适于微区分析。
（8）是一种高灵敏超微量表面分析技术，样品分析的深度约为20Å，信号来自表面几个原子层，样品量可少至10的-8次方g，绝对灵敏度高达10的-18次方g。
三
原理
XPS的产生
当单色的X射线照射样品,具有一定能量的入射光子同样品原子相互作用：
（1）光致电离产生光电子；（2）电子从产生之处迁移到表面；（3）电子克服逸出功而发射。用能量分析器分析光电子的动能,得到的就是X射线光电子能谱。
这方面很多书上都介绍了，归根结底就是一个公式：
E(b)= hv-E(k)-W
E(b): 结合能（binding energy）
hv: 光子能量 （photo energy）
E(k): 电子的动能 （kinetic energy of the electron）
W: 仪器的功函数（spectrometer work function）
通过测量接收到的电子动能，就可以计算出元素的结合能。
铝靶：hv=1486.6 eV
镁靶：hv=1253.6 eV
XPS谱线中伴峰的来源：
振离(Shake-off): 多重电离过程（能量差为带有一个内层空穴离子基态的电离电位） A hν=(A2 )* 2e- 正常：Ek(2P)=hν-Eb(2P) 振离：Ek’(2P)=hν-[Eb(2P) Eb(3d)]
振激(Shake-up) :在X-ray作用下内层电子发生电离而使外层电子跃迁到激发的束缚态导至发射光电子的动能减少。（能量差为带有一个内层空穴离子基态的电离电位）
能量损失(Energy loss): 由于光电子在穿过样品表面时同原子（或分子）发生非d性碰撞而引起的能量损失。
X射线伴线(X-ray statellites): X-ray不是单一的Ka，还有Ka1,2,3,4,5,6以及Kβ。(主要有Ka3,4构成)多重分裂(Multiplet splitting):一般发生在基态有未成对电子的原子中。
俄歇电子(Auger electron): 当原子内层电子光致电离而射出后，内层留下空穴，原子处于激发态，这种激发态离子要向低能态转化而发生弛豫，其方式可以通过辐射跃迁释放能量，波长在X射线区称为X射线荧光；或者通过非辐射跃迁使另一电子激发成自由电子，这种电子就称为俄歇电子。对其进行分析能得到样品原子种类方面的信息。
XPS谱图中伴峰的鉴别：
在XPS中化学位移比较小，一般只有几ev，要想对化学状态作出鉴定，首先要区分光电子峰和伴峰）
光电子峰：在XPS中最强（主峰）一般比较对称且半宽度最窄。
俄歇电子峰：Auger有两个特征：1. Auger与X-ray源无关，改变X-ray，Auger不变。2. Auger是以谱线群的形式出现的。
振激和振离峰：振离峰以平滑连续 谱的形式出现在光电子主峰低动能的 一边，连续谱的高动能端有一陡限。 振激峰也是出现在其低能端，比主峰 高几ev，并且一条光电子峰可能有几条振激伴线。
能量损失峰：其特点是随X-ray的波动而波动。
多重分裂峰：多重分裂峰的相对强度等于终态的统计权重。如：Mn2 离子具有5个未成对电子，从Mn2 内层发射一个s电子，其J值为（5/2 1/2）和 （5/2-1/2），其强度正比于（2J 1），即其分裂峰的相对强度为7 :5；
X-ray伴线产生的伴峰：X-ray的伴线能量比主线（Ka1,2）高，因此样品XPS中光电子伴峰总是位于主峰的低结合能一端（如下图所示），这也是X-ray伴线产生的伴峰不同于其 它伴峰的主要标志。
紫外光电子能谱分析（UPS—Ultra-violet photoelectron Spectroscopy）
XPS分析使用的光源阳极是Mg或Al，其能量分别是1487和1254eV。
(1)Mg/Al双阳极X射线源能量范围适中（Mg：1253.7，Al：1486.7eV）(2)X射线的能量范围窄（0.7和0.85 eV）能激发几乎所有的元素产生光电子；(3)靶材稳定，容易保存以及具有较高的寿命。
UPS的光源为氦放电灯，能量为21.2或40.8eV，其能量只能够激发出价带电子，因此主要用于价带分析。
深度剖面
分析用离子束溅射剥蚀表面,用X射线光电子谱进行分析,两者交替进行, 可以得到元素及其化学状态的深度分布。
四
制样
样品尺寸不宜过大，一般应不大于10x10x5mm；
样品表面应大体上平整；
样品最好能够导电；
表面应作脱脂处理，绝对避免用手触摸；
原始表面应尽可能尽快测试，避免长时间在空气中存放；
粉末样品可以压成块状，或撒布在胶带上；
也可以将粉末溶解在适当溶剂中做成溶液，涂在样品台上，再使溶剂挥发即成样品；
气体、液体样品多用冷却法令其凝固。
样品的预处理 ：（对固体样品）
1.溶剂清洗（萃取）或长时间抽真空除表面污染物。
2.氩离子刻蚀除表面污物。注意刻蚀可能会引起表面化学性质的变化（如氧化还原反应）。
3.擦磨、刮剥和研磨。对表理成分相同的样品可用SiC(600#)砂纸擦磨或小刀刮剥表面污层；对粉末样品可采用研磨的方法。
4.真空加热。对于能耐高温的样品，可采用高真空下加热的办法除去样品表面吸附物。
样品的安装：
一般是把粉末样品粘在双面胶带上或压入铟箔（或金属网）内，块状样品可直接夹在样品托上或用导电胶带粘在样品托上进行测定。
其它方法：
1.压片法：对疏松软散的样品可用此法。
2.溶解法：将样品溶解于易挥发的有机溶剂中，然后将其滴在样品托上让其晾干或吹干后再进行测量。
3.研压法：对不易溶于具有挥发性有机溶剂的样品，可将其少量研压在金箔上，使其成一薄层，再进行测量。
利用XPS谱图鉴定物质成分：
利用某元素原子中电子的特征结合能来鉴别物质
自旋-轨道偶合引起的能级分裂，谱线分裂成双线（强度比），特别对于微量元素。
利用俄歇化学位移标识谱图鉴定物质：如：Cu与CuO的化学位移为0.4eV，Ag与Ag2SO4化学位移为0.1eV而对它们来说俄歇化学位移相当大。
应用
由于元素的结合能是唯一标识的，因而我们可以用 xps 作：
（1）组成样品的元素的标定
（2）各元素含量的计算
（3）元素的侧向分布
（4）化学态标定
（5）测量超薄（小于5纳米）样品的厚度
XPS 实验结果如何分析
XPSpeak 软件,或者 origin
XPS 手册 C. D. Wagner, W. M. Riggs, L. E. Davis, et al., Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy [M], (G. E. Muilenberg, editor) Perkin Elmer Corporation (Physical Electronics), 1979
网络数据库http://www.lasurface.com/database/elementxps.php
XPS谱图的解释步骤：
在XPS谱图中首先鉴别出C1s、O1s、C(KLL) 和O(KLL)的谱峰（通常比较明显）
鉴别各种伴线所引起的伴峰。
先确定最强或较强的光电子峰（或俄歇电子峰）
再鉴定弱的谱线。辨认p、d、f自旋双重线，核对所得结论。
XPS分峰
计算表面元素含量
用所有分峰面积加和做总面积，除以灵敏度因子，如一个元素如 Si 2p 有两个峰，把每一个人的峰面积相加，然后除以灵敏度因子。
计算元素相对含量
XPS和EDX的区别XPS 不光可以分析出何种元素，什么含量，还可以知道该元素是何种价态，比如金属表面，可以知道它是否被氧化，生成物是什么；而EDX只能知道何种元素，各元素含量。
XPS 一般采样深度为几个纳米，如果用角分辨XPS可以到十几个纳米，用深度剖析可以达到几百个纳米；一般EDX打入的深度只有零点几到几个微米。
深圳市华讯测试技术有限公司（以下称“华讯测试”）——是国内最大的材料计算服务商深圳华算科技有限公司全资子公司。
华讯测试，业务涉及化学化工、电子产品、新材料、新能源、半导体、钢铁、冶金、生物医药、环境、食品、化妆品等领域，拥有像同步辐射、冷冻电镜、球差电镜、原位表征测试、FIB、SEM、TEM、AFM、XRD、XRF、XPS、ICP、Raman、BET、TGA-DSC、NMR、FTIR、UV-vis-NIR、PPMS、VSM、VNA、UPS、PL等200余种测试解决方案，从形貌、成分、结构、物理化学、热学、力学、电学、光学、磁学等多角度和手段表征样品的性能，为企业研发和科研工作者提供精准的检测测试服务。
测试技术团队来自于清华大学、北京大学、天津大学、中科院化学所、德国马普所、德国康茨坦茨大学、香港理工大学、同济大学博士团队，解决方案丰富，技术水平高，本领够硬。
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