1、
污染肯定有。\x0d\x0a2、
半导体厂主要生产半导体原材料,比较高纯度的硅,在提炼硅的时候,可能存在空气和水污染。空气污染主要来源于在处理过程中挥发出来的酸性气体,水污染除了有加工使用的化学物质外,还可能带来重金属的污染。\x0d\x0a3、芯片厂主要是光刻、封装这块。可能存在的污染也包括空气和水两部分,相对来说,光刻这块水污染的可能性更大一些,而封装这块,由于存在电镀,主要以空气、水污染为主。\x0d\x0a4、污染大小关键要看企业环保控制力度大小,我参观过一些半导体和芯片封装企业,他们外部看到的污染情况,其实远比一般企业(比如机械加工企业)要小,无论是噪音,空气还是水这块。原因是半导体产品的价值含量很高,特别是光刻这块,小小一盒半导体芯片(类似大号光盘盒子一样)可能就价值几十万上百万。\x0d\x0a5、辐射污染,如果你后面不是直接挨着配电房的话,应该问题不大。如果挨着的,辐射污染也可能有。因为半导体产业这块,用电很大,而辐射的大小其实跟用电有很大关系。\x0d\x0a世界上最大型的半导体企业,比如美国的德州仪器(TI)公司,就把生产企业安排在远离人群居住的地方,主要也是污染的原因,可以想象,这种企业潜在的污染还是大的。半导体
废气处理废气介绍:由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。废气危害:半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。处理方法:依据这些废气的特性,在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,针对不同污染物,可采取以下综合处理方法:1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统
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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物,分离和处理难度比较大。
半导体废气治理办法
半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法,又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除污染物,而达到大气排放标准,故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。
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