1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

十万级无尘室如何装修，湖南纯臻净化工程为您解答！

十万级无尘车间装修——板材的安装

1 墙板和吊顶板在安装之前应对板材的材料、品种、规格尺寸、性能以及夹芯板的芯材进行检查、核实是否能满足设计要求；必要时对抽样进行性能测试（耐火性、安全无毒性、抗弯强度等性能）。

2 墙板和吊顶板在安装之前应对吊顶上、夹墙内已施工完毕的隐藏工程进行验收，并达到合格要求，方能进行墙板和吊顶板的施工。

3 吊顶板和墙板在安装时高效过滤器送风口、灯具、感温感烟元件、扬声器以及门、窗、管道的穿板处，其洞口周围要平整、严密、清洁、不产尘，其缝隙应用不燃材料封堵；检查口的周边也要很好的密封。

4 吊顶板和墙板的板缝应均匀一致，板缝的间隙误差应不大于0.5 mm，板缝应用密封胶均匀密封，密封处应平整、光滑、略低于板面。

5 墙板安装应垂直，吊顶板安装应水平，板面平整，位置正确，墙与地、墙与顶、墙与墙、顶与顶之间的交接处应有合理的结构，保证密封，防止开裂，拐角处宜为圆角。

6 板材安装的垂直度≤1.5 mm，表面平整度≤1.5 mm，板与板之间，接缝处的高低差≤1.0 mm。

7 板材安装后应进行保护防止碰撞破坏板面。

8 板材表面应平整、光滑、色泽一致，板材表面的保护膜应完好无损，交工前再撕膜。

十万级无尘车间装修——净化设备的安装

(1）根据洁净广房中产品生产的需要和人员净化、物料净化等要求，－般设置有各种类型的净化设备。各类净化设备与无尘车间的围护结构相连时，其接缝必须密封。

(2）风机过撞单元（FFU、FMU空气净化设备）的安装，一般应做到如下要求。

FWU装置应在清洁的现场进行外观检查，目测不得有变形、锈蚀、潦膜脱 落、拼接板破损等现象。

•在FFU风机过滤单元的高效过滤器安装前应进行检漏，合格后才能进行安装。方向安装必须正确，安装后的风机过滤单元应便于检修。

·安装后的风机过撞单元，应保持整体平整，与吊顶衔接应良好。风机箱与过滤器之间 的连接、风机过撞器单元与吊顶框架之间均应设有可靠的密封措施。

·风机过滤单元在进行系统试运转时，必须在避风口加装临时中效过滤器。

(3）带有风机的气闸室、风淋室与地面间应设置隔振垫；安装时应按产品说明要求，做 到平整并与无尘车间围护结构间配合正确，其接缝应进行密封。

(4）机械式余压阔的安装，阀体、阅板的转轴均应水平，允许偏差为 211 000。余压阔 的安装位置应符合设计要求，一般设在室内气流的下风侧，并不应在工作面高度的范围内。

(5）传递窗的安装应符合设计图纸和产品说明书的要求，安装应牢固、垂直，与墙体的 连接处应进行密封。

(6）洁净层流罩的安装店做到如下要求。

·应设有强立的吊杆，并设有防晃动的固定措施。

Ill000，高度的允许偏差为±1.0mm。

·层流罩安装的水平度的允许偏差1/1000，高度的允许偏差为±1mm

·当层流罩安装在吊顶上时，其四周与顶棚之间应设有密封和隔振措施。

更多资料：http://wenku.baidu.com/view/6dff02e5ccbff121dc36831e

集成电路无尘车间是为了满足半导du体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

远程在线式遥测激光尘埃粒子计数器是几乎每个精密电子车间必不可少的设备，如果在我们的半导体车间中有这样一种监测颗粒浓度的仪器，那么我们在办公室时就可以轻松了解车间中尘埃粒子情况，实现产品生产与监督智造的智能体验。例如，当我们检测到车间内的颗粒浓度过高时，我们可以及时通知相应车间的负责人，并采取针对性的措施降低颗粒浓度，以达到安全可靠的标准，这非常有利于产品的安全生产，为客户提供可靠的高质量产品。

CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是深圳赛纳威研发的智能多点净化检测系统的终端设备，不仅可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级，根据不同需要增加或减少控制终端，还可以实现7*24实时远程自动监测，通过RJ45网络接口、WiFi、485（moudbus）等，将数据送给PC终端，显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准（JIS）要求标定，专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。

---