1993年公司成立之后，设立了附属“半导体通信研究所”，致力于多媒体及视频通信用系统所需的各种核心半导体芯片的开发，推出了各种半导体产品。我公司在韩国国内最早开始开发用于PSTN(普通电话线)的H.263视频处理半导体芯片和G.723.1声音处理半导体芯片，以及将其予以应用的H.324可视电话Vizufon，历经7年的艰苦研究，最终开发成功，并投放到市场中。
为了克服PSTN用可视电话的致命缺点-速度(视频质量)问题，我公司成功开发了以正在快速成长的宽带互联网上应用的多媒体可视电话，终于将以前人们心中为“梦的通信“的视频通信变成现实，本公司也因此成为全世界认同的优秀的视频通信解决方案企业。
如今，C&S Technology公司正致力于开发将发展成为21世纪通信主流的多媒体通信(Multimedia
Communications)的核心--视频通信半导体及其应用系统，并为了使多媒体通信领域的相关企业灵活开发ASIC，我公司正在此基础上开展 “ASIC 设计服务”。
主要半导体开发事业领域
视频处理：PSTN或MoIP（Multimedia Over IP）多媒体可视电话终端机所使用的视频通信处理器
声频处理：VoIP或MoIP多媒体可视电话终端机所使用的声频处理器
无线通信：无线互联网VoIP/MoIP多媒体可视电话终端机所使用的无线局域网Modem
设计服务：利用0.35/0.25/0.18um工艺技术的ASIC设计服务
主要系统开发事业领域
普通电话线(PSTN)用H.324多媒体可视电话
宽带互联网(Broad Band Internet)用MoIP多媒体可视电话
- H.323/SIP多媒体可视电话
- 远程视频监控系统
数字高清电视（HDTV）机顶盒
C&S Technology公司成立至今，通过不断的研究开发，在很短时间内就技术力量和发展前景方面获得了广泛的认可，被政府指定为“有希望中小情报通信企业“(1995年)，获得了情报通信部部长表彰(1996年)，并被指定为优秀企业研究所(2000年)，获得国务总理表彰。
我司分别于1997年从韩国最大的风险资金KTB(韩国综合技术金融), 于1999年从台湾最大的投资银行CDIB(中华开发产业银行)引入资本，2000年在KOSDAQ挂牌上市，稳扎稳打，扎下了坚实的基础。
为了加强主打产品-可视电话核心芯片和系统的竞争力，促进项目成功，成立了负责制造生产的（株）C&S Telecom公司和负责经销和流通的（株）C&S Network公司等子公司，实现了从开发到制造生产，乃至流通的全部过程的独立运行。
随着时代的发展，有线和无线将以宽带互联网为中心进行整合，而电视广播和通信则将在此基础上实现融合统一。普通电话线环境对于实现视频通信是非常不利的网络环境，C&S将用于这个环境里的可视电话技术加以巩固提高， 并将其用在宽带互联网环境中，开发出MoIP多媒体可视电话。我们将继续开发在无线宽带互联网环境下使用的可携式无线MoIP多媒体可视电话，并将其与刚面世便深受用户欢迎的HD-TV视讯转换盒相结合，改进为家庭服务器（Home Server），用以MoIP为中心的整体解决方案引领即将到来的家庭网络
（Home Networking）时代。
国外半导体元器件生产厂家名称http://www.ic-assess.net/facturer/facname/mcaps.html
抄录部分如下：
A V G Semiconductor
AAK Corp
ABB Drives
ABB Hafo A B
ABB Semiconductor
ABB Semiconductors Ag
Aborn Electronics
AC Interface Inc
Acculin Inc
Accutek Microcircuit Corp
Acer Laboratories Inc
Acopian
Acrian Inc
Actel Corp
Action Tungsram Inc
Acumos Inc
Adams-Russell Electronics
Adaptec Inc
Adaptive Logic Inc
Advanced Detector Corp
Advanced Electronic Packaging
Advanced Hardware Architectures Inc
Advanced Linear Devices Inc
Advanced Memory Systems Inc
Advanced Micro Systems Inc
Advanced Microelectronic Products Inc
Advanced Milliwave Laboratories Inc
Advanced Optoelectronics (Applied Solar)
Advanced Power Technology
Advanced Research Associates
Advanced Semiconductor Inc
Advanced Technology Corp
Aeroflex Laboratories Inc
Aeroflex Laboratories, Comstron Div
Agilent Technologies
Airpax Corp, Frederick Division
Alan Industries Inc
Alden Scientific Inc
Aleph International Corp
Allegro Microsystems Inc
Allen Avionics Inc
Allen Bradley Co
Alliance Semiconductor
Allied Electronic &Semiconductor Technology Inc
Allied Electronics Gmbh
Allied Signal Aerospace Company
Alpha Industries Inc, Components and Subsystems Div
Alpha Industries Inc, Semiconductor Div
Alpha Products Inc
Alpha Semiconductor
Altair Corp
Altera Corp
Amax Applied Technology Inc
AMD Inc
American Electronic Laboratories
American Microsemiconductor Inc
American Microsystems
American Power Devices Inc
American Semiconductor Corp
Amex Electronics Inc
AMF Inc
Amperex Electronic Corp
Ampex Data Systems Group
Amplifonix Inc
Amptek Inc
Anadigics Inc
Anaheim Automation
Analog Devices Inc
Analog Solutions
Analog Systems
Analogic Corp
Analytic Instruments Corp
AND
Anders Electronics
Andersen Laboratories Inc
Anodeon Semiconductor Div
Ansaldo S P A - Div Electronica
Antel Optronics Inc
Apex Microtechnology Corp
API Electronics Inc
Appian Technology Inc
Applied Micro Circuits Corp
Aptek Williams Inc
Aptos Semiconductor
Argo Transdata Corp
Aristo-Craft/ L M P Inc
Aromat Corp
Array Microsystems Inc
Artesyn Technologies
Arts Island Products Co LTD
Asahi Kasei Microsystems Co LTD
ASEA Brown Boveri A G
Ashley-Butler Inc
Asiliant Technologies
Askjeselskapet Mikro-Electronik
Associated Electronics Industries
Astec America Inc
Astec Standard Power
Atmel Corp
Aucera Technology Corp
Auctor Corp
Augat Inc
Aurora Semiconductor
Austek Microsystems
Austin Semiconductor Inc
Austria Mikro System Intl
Automatic Coil
Avantek Inc
Avasem
Avens Signal Equipment Corp
Avnet Inc
AVX Corp
AVX Corporation
Aydin Corp
B I Technologies Corp
Babcock Display Products Group
Barnes Engineering Co
Base Two (2) Systems
Basic Electronics Inc
Bedford Opto Technology LTD
Bel Hybrids &Magnetics Inc
Bel Fuse Inc
Benchmarq Microelectronics Inc
Bendix Semicon Products
Bharat Electronics LTD
Big-Sun Electronics Co LTD
Bipolar Integrated Technology Inc
BKC Semiconductors Inc
Black &Decker Corp
Boeing Electronics Co
Bogue Electric Manufacturing Co
Boston Technical Inc
Bourns Inc
Bowmar Inc
Bradley Semiconductor Sorp
Bright Led Electronics Corp
British Thomson-Houston Export Co Ltd
Brooktree
Brown Boveri &Aktiengesellschaft
Bull Micral Of America Inc
Burns &Towne Inc
Burr-Brown Corp
Burroughs Corp
C T S Reeves
C&D Technologies
C-Cube Microsystems
Caddock Electronics Inc
Cal Crystal Labs Inc
Calex Manufacturing Co Inc
California Devices Inc
California Eastern Laboratories Inc
California Micro Devices Corp
Calmos Systems Inc
Calogic Corp
Canadian General Electric Co Ltd
Cantec Electronic Co Ltd
Capar Components Corp
Capar
Capital Equipment Corp
Cardon Corp
Carlo Gavazzi Inc
Carter Semiconductor Inc
Carter Transistor Corp
Catalyst Research Corp
Catalyst Semiconductor Inc
CBS Electronics
Celduc
Celeritek
Central Semiconductor Corp
Centralab Semiconductor (Globe Union)
Centronic Inc, E-O Div
Centronic Ltd
Cermetek Microelectronics Inc
CGEE Alsthom Service SCP
Champion Technologies Inc
Cherry Corp
Cherry Semiconductor Corp
Chicago Miniature Lamp Inc
China Semiconductor Corp
Chip Supply, Micro Devices
Chrontel
Circuit Technology Inc
Cirrus Logic Inc
Citizen Electronics Co LTD
Clairex Technologies Inc
Clare (C P) Division
Clare (C P), Solid State Products
Clear Logic
Coco Research Inc
CODI Semiconductor Inc
Coherent Component Corp
Collins Electronics Corp
Collmer Semiconductor Inc
Comlinear Corporation
Commodore Semiconductor
Communications &Power Industries
Compagnia Italiana Westinghouse
Compagnia Semiconductori Italia SPA
Compagnie Des Dispositifs Semiconductor, Westinghouse
Compagnie General D'Electricita
Compensated Devices Inc
Components Inc
Computer Conversions Corp
Computer Management &Development Service
Comset Semiconductors, SPRL
Comstron Corp
Concurrent Logic
Conditioning Semiconductor Devices Corp
Conexant Systems Inc
Connor-Winfield Corp
Consumer Microcircuits Ltd
Continental Device India Ltd
Control Sciences Inc
Cooper Laser Sonics
Coors Components Inc
Cornes &Company Ltd
Corporation Soneet
Cougar Components
CP Technology Inc
Creation Technologies Inc
Cree Research Inc
Crimson Semiconductor Inc
Crosspoint Solutions Inc
Crouzet Corp
Crydom Co
Crystal Semiconductor Corp
Crystaloid Electronics Co
Crystek Corp
CSR Industries Inc
CTS Corp
CTS Electronics, Knights Div
Curtis Electromusic Specialties Inc
Custom Array Corp
Custom Components Inc
Custom Micro Systems Inc
Cybernetic Micro Systems
Cypress Semiconductor Corp
Cyrix Corp
D C P Research Corp
Dai Nippon Printing Co
Daico Industries Inc
Dale Electronics Inc
Dale Electronics
Dallas Semiconductor Corp
Dalsa Inc
Danaher Corp
Danari International
DAQ Electronics Inc
Data Delay Devices Inc
Data Display Products
Data General Corp
Data Technology Corp
Data Translation Inc
Datalinear
Datalogic Inc
Datalogic Optic Electronics Inc
Datatronics
Datel Inc
Dawn Electronics Inc
Defense Supply Center Columbus (Mil Specs)
Defense Supply Center Columbus (SMD's)
Deico Electronics Inc
Delco Electronics
Delsa Toshiba S A
Delta Electronic Ind Co LTD
Delta Products Corp
Dense-pac Microsystems Inc
Densitron Corp
Denyo Europa Gmbh
Devar Inc
Dexter Research Center Inc
Dialight Corp
Dickson Electronics Corp
Digital Components Corp
Digital Equipment Corp
Digital RF Solutions Corp
Digitron Electronic Corp
Dino Olivetti SPA
Diodes Inc
Dionics Inc
Diotec Electronics Corp
Diotec Elektronische Bauelemente GMBH
Directed Energy Inc
Discon Industries Inc
Display Engineering Services
Displays Inc
Don's Enterprise Co Ltd
Douglas Randall Inc
Dr Ing Rudolph ROST
DSP Group Inc
Dymec Inc
DynaChip Corp
E-SAN Electronic Co Ltd
Eagle-Picher Technologies LLC
Eastron Corp
Eaton Corp, Microwave Products Div
Ebauches S A
Echanges Techniques Internationaux
ECI Semiconductor
ECS Inc International
Ectiva
Edal Industries Inc
EDO Corp
Edsun Laboratories Inc
EE Tech Inc
EG&G Inc, Photon Devices Div
EG&G Inc, Washington Analytical Services Center Inc
EG&G Judson
EG&G Optoelectronics Canada
EG&G Reticon
EG&G Vactec
EIC Semiconductor Inc
Elantec Inc
Elcoma
Eldec Corp
Elec-Trol Inc
Electech Electronics
Electro Corp
Electro-Films Inc, Semi-Films Div
Electro-Films Inc
Electro-optical Systems Inc
Electron Research Inc
Electron Tubes Inc
Electronic Arrays Inc
Electronic Designs Inc
Electronic Devices Inc
Electronic Research Co
Electronic Technology Corp
Electronic Transistors Corp
Electronica Nacional Braileria
Elite Microelectronics
Elite Semiconductor
Elmec Corp Of America
Elmo Semiconductor Corp, Elpaq Division
Elmo Semiconductor Corp
Elpac Power Systems
Eltec Instruments Inc
EM Microelectronics
Emerson Electric Co
Emihus Microcomponents
Energy Electronic Products Corp
Engineered Components Co
English Electric Valve Co Ltd
Enhanced Memory Systems Inc
Envir Communications Inc
Epitaxx Inc
Epitek International Inc
Ercona Corp
Ericsson Components AB
Ericsson Components Inc
ESC Electronics Corp
Espey Mfg &Electronics Corp
ESS Technology Inc
ETEQ Microsystems Inc
Eupec
Eurodia G E S M B H Components
Eurosil Electronics Ltd
Eurotechnique
Everlight Electronics Co Ltd
Exar Corp
Excel Technology International Corp
Exel Microelectronics
Exxon Enterprises Inc
Facon
Fagor Electronic Components Inc
Fairchild Semiconductor Corp
Fallon Industries
Fanon Transistor Corp
Faraday Electronics Inc
FCP Inc
FDK Corp
FEI Microwave Inc
FEM A Electronics Corp
Fema Electronics Corp
Fenwal Electronics
Ferranti Electric Inc
Ferranti Industrial Electronics LTD
Ferrotran Electronics Co
Film Microelectronics Inc
Fine Products Microelectronics Corp
Finlux Inc
First Components
Fischer &Porter Co
FMC Corp
Ford Aerospace &Communications Corp
Fox Electronics
Foxboro I C T Inc
Foxboro I C T
FR Electronics
Franel Corp
French Thomson-Houston Semiconductor
Frequency Devices Inc
Frequency Sources
Frontier Electronics Co LTD
Fuji Electric Co Ltd
Fuji Electric Co
Fujikura America Inc
Fujitsu Kiden Ltd
Fujitsu Ltd
Fujitsu Microelectronics Inc
Fullywell Semiconductor Co Ltd
Futaba Electric Co Ltd
Future Domain Corp
G H Z Technology Inc
G-TWO Inc
Galil Motion Control Inc
Galileo Corp
Galileo Technology
Gazelle Microcircuits Inc
Gch-Sun Systems Co Ltd
GD Rectifiers Ltd
GEC Marconi Materials Technologies Ltd
GEC Plessey Semiconductors
GEC Semiconductors Ltd
Gem Asia Enterprise Co Ltd
General Diode Corp
General Electric Co, Custom Integrated Circuits
General Electric Co, Electro Optics
General Electric Solid State
General Instrument Optoelectronics
General Magnetics Inc
General Micro-Electronics Inc
General Microcircuits Corp
General Semiconductor Inc
General Semiconductor Industries Inc
General Sensors Inc
General Transistor Corp
Genisco Electronics
Gennum Corp
Gentron Corp
Gespac Inc
Giddings &Lewis Advanced Circuitry Systems
Giga
Gigabit Logic Inc
Gilway Technical Lamp
Glorious Sources Co Ltd
Glow-Lite Corp
GMT Microelectronics Corp
Goldentech Discrete Semiconductor Inc
Gould Inc, Microwave Products
GPD Optoelectronic Devices
Graseby Infrared
Grayhill Inc
Great American Electronics
Great Eastern Mfg Co
Greenray Industries Inc
Greenwich Instruments Ltd
GS Technology
GSI Technology
GTE Microcircuits
......
碳化硅陶瓷—光刻机用精密陶瓷部件的首选材料jensoil
道法自然
来自专栏半导体产业和投融资
本文来自中国粉体网
近几年，光刻机的确是个热词，不论业内业外，都对其非常关注，“有井水处即有光刻机”说的毫不夸张。据说有位半导体领域的专家去理发时，理发小哥也会滔滔不绝的和他交流光刻机。
而在材料领域，碳化硅的“火”有过之而无不及，其本身作为一种优良的陶瓷材料，性能与应用不断地被的开发，尤其是随着集成电路的快速发展，碳化硅作为第三代半导体材料更是一跃成为最受瞩目的材料之一。
光刻机和碳化硅之间又有什么神秘关系呢？
这还要从刚才讲到的集成电路说起。集成电路产业(即IC产业)是关乎国家经济、政治和国防安全的战略产业，在IC产业中，集成电路制造装备具有极其重要的战略地位。集成电路关键装备的发展除先进设计、精密控制技术外，关键零部件制备技术制约也是严重影响集成电路先进制造装备国产化进程的一大问题。
12英寸硅片用碳化硅真空吸盘
关键零部件具有举足轻重的作用，要求结构件材料具有高纯度、高致密度、高强度、高d性模量、高导热系数及低热膨胀系数等特点，且结构件要具有极高的尺寸精度和结构复杂性。例如在高端光刻机中，为实现高制程精度，需要广泛采用具有良好的功能复合性、结构稳定性、热稳定性、尺寸精度的陶瓷零部件，如E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁钢骨架水冷板、反射镜、导轨等。
碳化硅陶瓷正是光刻机用精密陶瓷部件的首选材料！
碳化硅陶瓷具有高的d性模量和比刚度，不易变形，并且具有较高的导热系数和低的热膨胀系数，热稳定性高，因此碳化硅陶瓷是一种优良的结构材料，目前已经广泛应用于航空、航天、石油化工、机械制造、核工业、微电子工业等领域。
但是，由于碳化硅是Si-C键很强的共价键化合物，具有极高的硬度和显著的脆性，精密加工难度大；此外，碳化硅熔点高，难以实现致密、近净尺寸烧结。因此，大尺寸、复杂异形中空结构的精密碳化硅结构件的制备难度较高，限制了碳化硅陶瓷在诸如集成电路这类的高端装备制造领域中的广泛应用。目前只有日本、美国等少数几个发达国家的少数企业(如日本的Kyocera、美国的CoorsTek等)成功地将碳化硅陶瓷材料应用于集成电路制造关键装备中，如光刻机用碳化硅工件台、导轨、反射镜、陶瓷吸盘、手臂等。
碳化硅工件台
光刻机中工件台主要负责完成曝光运动，要求实现高速、大行程、六自由度的纳米级超精密运动，如对于100nm分辨率、套刻精度为33nm和线宽为10nm的光刻机，其工件台定位精度要求达到10nm，掩模硅片同时步进和扫描速度分别达到150nm/s和120nm/s，掩模扫描速度接近500nm/s，并且要求工件台具有非常高的运动精度和平稳性。故需满足以下要求：
工件台及微动台(局部剖面)示意图
(1)高度轻量化：为降低运动惯量，减轻电机负载，提高运动效率、定位精度和稳定性，结构件普遍采用轻量化结构设计，其轻量化率为60%~80%，最高可达到90%；
(2)高形位精度：为实现高精度运动和定位，要求结构件具有极高的形位精度，平面度、平行度、垂直度要求小于1μm，形位精度要求小于5μm；
(3)高尺寸稳定性：为实现高精度运动和定位，要求结构件具有极高的尺寸稳定性，不易产生应变，且导热系数高、热膨胀系数低，不易产生大的尺寸变形；
(4)清洁无污染：要求结构件具有极低的摩擦系数，运动过程中动能损失小，且无磨削颗粒的污染。
碳化硅陶瓷方镜
光刻机等集成电路关键装备中的关键部件具有形状复杂、外形尺寸复杂以及中空轻量化结构等特点，制备此类碳化硅陶瓷零部件难度较大。目前国际主流集成电路装备制造商，如荷兰ASML，日本NIKON、CANON等公司大量采用微晶玻璃、堇青石等材料制备光刻机核心部件——方镜，而采用碳化硅陶瓷制备其他简单形状的高性能结构部件。中国建筑材料科学研究总院的专家们却采用专有制备技术，实现了大尺寸、复杂形状、高度轻量化、全封闭光刻机用碳化硅陶瓷方镜及其他结构功能光学零部件的制备。
碳化硅光罩薄膜
日前在韩国的一场半导体交流活动中，ASML韩国营销经理MyoungKuyLee透露，公司将开始供应透光率超90%的薄膜，以提升EUV光刻机的效率。ASML2016年首次开发出光罩薄膜，当时的透光率是78%。随后在2018年，薄膜透光率提升到80%，去年提升到85%。
薄膜用于保护光罩免受污染，单价2.6万美元左右（约合人民币16.78万元）。
另外，韩国企业FST、S&STech也都在紧张开发EUV光刻机所需的薄膜，FST此前预期上半年开始供应90%透光率的碳化硅薄膜。
碳化硅陶瓷精密结构部件制备工艺
中国建材总院在近净尺寸成型工艺——凝胶注模成型的基础上，开发出用于制备新型大尺寸、复杂形状、高精度碳化硅陶瓷部件的工艺技术。
碳化硅陶瓷部件制备工艺流程图
该制备流程中的关键工艺包括凝胶注模成型工艺、陶瓷素坯加工工艺和陶瓷素坯连接工艺。其中，凝胶注成型工艺是制备碳化硅陶瓷部件的基础，该工艺是一种精细的胶态成型工艺(Colloidalprocessing)，可实现大尺寸、复杂结构坯体的高强度、高均匀性、近净尺寸成型，自上世纪90年代以来在特种陶瓷材料制备领域获得了广泛的研究。陶瓷素坯加工工艺可以实现复杂形状陶瓷部件的快速、低成本、精密制造，有效提高陶瓷部件的尺寸精度及表面光洁度。陶瓷素坯连接工艺则可以实现中空陶瓷部件的制备，主要采用陶瓷粘结剂将陶瓷单体部件进行连接获得整体中空部件。
产业竞争格局
目前国外在集成电路核心装备用精密陶瓷结构件的研发和应用方面走在前列的公司有日本京瓷、美国CoorsTek、德国BERLINERGLAS等，其中，京瓷和CoorsTek公司占据了集成电路核心装备用高端精密陶瓷结构件市场份额的70%。
京瓷及CoorsTek制造的高端陶瓷零部件具有材料体系齐全、性能优异、结构复杂、加工精度高等特点，所制造的精密陶瓷结构件几乎涵盖了现有结构陶瓷材料体系，如氧化铝、碳化硅、氮化硅、氮化铝等；结构件的应用领域也几乎覆盖了全部集成电路核心装备，形成了一系列型号齐全、品种多样的精密陶瓷结构件产品，如美国CoorsTek公司能够提供光刻机专用组件、等离子刻蚀设备专用组件、PVD/CVD专用组件、离子注入设备专用组件、晶片吸附固定传输专用组件等一系列产品；京瓷能够提供光刻机、晶圆制造设备、刻蚀机、沉积设备（CVD、溅射）、LCD等装备用精密陶瓷结构件。我国在集成电路核心装备用精密陶瓷结构件的研发和应用方面起步较晚，在大尺寸、高精度、中空、闭孔、轻量化结构的结构陶瓷零部件的制备领域有诸多关键技术问题有待突破。
结束语
碳化硅陶瓷具有优良的常温力学性能(如高强度、高硬度、高d性模量等)、优异的高温稳定性(如高导热系数、低热膨胀系数等)以及良好的比刚度和光学加工性能，特别适合用于制备光刻机等集成电路装备用精密陶瓷结构件，如用于光刻机中的精密运动工件台、骨架、吸盘、水冷板以及精密测量反射镜、光栅等陶瓷结构件等。
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