前道主要是光刻、刻蚀机、清洗机、离子注入、化学机械平坦等。后道主要有打线、Bonder、FCB、BGA植球、检查、测试等。又分为湿制程和干制程。
湿制程主要是由液体参与的流程,如清洗、电镀等。干制程则与之相反,是没有液体的流程。其实半导体制程大部分是干制程。由于对Low-K材料的要求不断提高,仅仅进行单工程开发评估是不够的。为了达到总体最优化,还需要进行综合评估,以解决多步骤的问题。
扩展资料:
这部分工艺流程是为了在 Si 衬底上实现N型和P型场效应晶体管,与之相对应的是后道(back end of line,BEOL)工艺,后道实际上就是建立若干层的导电金属线,不同层金属线之间由柱状金属相连。
新的集成技术在晶圆衬底上也添加了很多新型功能材料,例如:后道(BEOL)的低介电常数(εr <2.4)绝缘材料,它是多孔的能有效降低后道金属线之间的电容。
参考资料来源:百度百科-后道工序
参考资料来源:百度百科-半导体
参考资料来源:百度百科-前道工艺
半导体焊线机和球焊机的区别:1、半导体焊线机最常见的问题就是断线、飞线、打不上火、烧不好球、打不上等问题。半导体焊线机随着产品种类的增多及对产品质量要求的不断提高,对焊接工艺要求起来越高,许多原来有人工焊接的产品对焊接自动化设备的需求及要求也越来越多.新兴的焊接技术的更新和焊接设备的先进性,超声波焊接技术日渐成熟,使其成为当代最先进的焊接技术。
2、球焊机具有第二焊点自动焊接功能,且三轴(焊头、位移、送料)同步运行,大大提高了焊线速度。具有双向自动位移焊接功能、自动二焊补球功能、及弧度增高功能。具有焊接完成声响提示功能,负电子成球,金球大小可调,且烧球不成功自动报警。使用钛合金焊头,寿命长且性能稳定。
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