原子力显微镜（AFM）的原理

原子力显微镜（AFM）的基本原理是：将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。选择原子力显微镜推荐Park NX-Hybrid WLI。Park NX-Hybrid WLI是有史以来第一款具有内置WLI轮廓仪的AFM，用于半导体和相关制造质量保证。例如半导体前端、后端到高级封装的过程控制，以及研发计量。它适用于那些需要在大面积上进行高吞吐量测量的设备，这些设备可以缩小到具有亚纳米分辨率和超高精度的纳米级区域。

NX-Hybrid WLI 的优势：

1、Park WLI系统

Park WLI支持WLI和PSI模式（PSI模式由电动过滤器变换器 支持）可用物镜放大倍数：2.5X 、10X、20X、50X、100X；两个物镜可由电动线性换镜器自动更换。

2、WLI光学干涉测量

扫描 Mirau 物镜高度时，由干涉引起的光强变化可以计算每个像素处的样品表面高度；白光干涉测量 (WLI) 和相移干涉测量 (PSI) 是两种常用的表面表征技术。

想要了解更多原子力显微镜的相关信息，推荐咨询Park原子力显微镜。Park原子力显微镜具有综合性的扫描模式，因此可以准确有效地收集各种数据类型；从使用世界上唯一的真非接触模式用来保持探针的尖锐度和样品的完整性，到先进的磁力显微镜， Park在原子力显微镜领域为客户提供最具创新、精确的模式。

原子力显微镜（AFM）有有三种基本成像模式，它们分别是接触式(Contact mode)、非接触式(non-contact mode)、轻敲式(tapping mode)。想了解更详细的信息，可以咨询Park原子力显微镜。Park NX-Wafer全自动AFM解决了缺陷成像和分析问题，提高缺陷检测生产率达1000%。超高精度和最小化探针针尖变量的亚埃级表面粗糙度测量，能够可靠地获得具有最小针尖变量的的亚埃级粗糙度测量。

原子力显微镜三种成像模式具体内容如下：

1、接触式。接触式AFM是一个排斥性的模式，探针尖端和样品做柔软性的“实际接触”，当针尖轻轻扫过样品表面时，接触的力量引起悬臂弯曲，进而得到样品的表面图形。

2、非接触式。在非接触模式中，针尖在样品表面的上方振动，始终不与样品接触，探测器检测的是范德华作用力和静电力等对成像样品没有破坏的长程作用力。需要使用较坚硬的悬臂（防止与样品接触）。

3、轻敲式。微悬臂在其共振频率附近做受迫振动，振荡的针尖轻轻的敲击表面，间断地和样品接触。当针尖与样品不接触时，微悬臂以最大振幅自由振荡。当针尖与样品表面接触时，尽管压电陶瓷片以同样的能量激发微悬臂振荡，但是空间阻碍作用使得微悬臂的振幅减小。反馈系统控制微悬臂的振幅恒定，针尖就跟随表面的起伏上下移动获得形貌信息。

想要了解原子力显微镜的相关信息，推荐咨询Park原子力显微镜。Park成立30多年来，始终致力于纳米领域的形貌&力学测量和半导体先进制成工艺的计量的新技术新产品的开发。Park独有的技术是将XY和Z扫描器分离，实现探针与样品间的真正非接触，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，快速成像还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本

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