半导体工厂机加工和火加工是什么工作

半导体工厂机加工和火加工是什么工作,第1张

加工

火加工岗位一个重要的制造工序,根据半导行业的特殊要求石英制品的加工必须在达 到一定洁净要求的 室内进行加工作业。它采用焊q设备燃烧氢氧气产生高温火焰,对石英制品进行热 加工作业,大多数产 品都依靠手工作业完成。

半导体工厂机加工:

1.使用外延炉等设备,进行气体纯化、四氯化硅精馏,在单晶片上生长单晶层;

2.使用高温炉,在半导体晶体表面制备氧化层,使杂质由晶片表面向内部扩散或进行其他热处理;

3.使用离子注入设备,将掺杂材料的原子或分子电离加速到一定的能量注入到晶体,并退火激活;

4.使用气相淀积设备,在衬底表面淀积一层固态薄膜;

5.使用光刻机在半导体表面掩膜层上刻制图形;

6.使用机械加工等设备,对晶片加工形成器件台面,并对表面作钝化保护;

7.使用电镀设备,对晶片、半导体器件、集成电路、电级材料的某些部位进行镀覆。

IC的制备工艺相对复杂一点,但跟基本的晶体管、MOS工艺等差不多的。NPN管为例硅外延平面管的结构主要工艺流程:(1) 切,磨,抛衬底(2)外延(3)一次氧化(4)基区光刻(5)硼扩散/硼注入,退火(6)发射区光刻(7)磷扩散(磷再扩)(8)低氧(9)刻引线孔 (10)蒸铝(11)铝反刻(12)合金化 (13)CVD(14)压点光刻(15)烘焙(16)机减(17)抛光(18)蒸金(19)金合金(20)中测.


欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出

原文地址: http://outofmemory.cn/dianzi/9062381.html

(0)
打赏 微信扫一扫 微信扫一扫 支付宝扫一扫 支付宝扫一扫
上一篇 2023-04-24
下一篇 2023-04-24

发表评论

登录后才能评论

评论列表(0条)

保存