半导体设备的aligner原理

你好，你是要问半导体设备的aligner原理是什么吗？半导体设备的aligner原理是使仪器中心和测站点在铅垂方向对准的光学装置。aligner原理光学装置对准封装系统是半自动化的光学对准、封装设备，主要用于测站点在铅垂方向对准的光学装置制作时的光路对准及封装等，aligner原理具有精度高、重复性好、性能可靠稳定等特点。

Aligner主要有3个和4个自由度的，X、Y、旋转三个自由度必须有，Z可以没有。主要工作对象是6、8、12英寸的Wafer预定位用。Robot相对复杂一些，只要是one hand和Dual hand(Arm)。非SCARA型是主流，用得多的意思，造价也低。基本是三个自由度，个别也有四个的。可以学习上海微松工业自动化的网站。

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