1、解释:
氯化硼,又名三氯化硼,是一种有强烈臭味的无色发烟液体或气体,用作半导体硅的掺杂源或有机合成催化剂,还用于高纯硼或有机硼的制取。
2、理化常数:
三氯化硼是无色发烟液体或气体,有强烈臭味,易潮解,其熔点-107、3℃,沸点12、5℃,溶于苯、二硫化碳。
3、主要用途:
用作半导体硅的掺杂源或有机合成催化剂,还用于高纯硼或有机硼的制取。
首先是甲醇的孤对电子对缺电子的硼配位,但由于B-Cl键极性很强,并不会停留于此,接受电子以后,Cl会带着一对电子离去,然后甲醇上的质子掉下,一个甲氧基就取代了一个氯。再重复此过程,剩下的两个氯也被取代,总反应为3CH3OH+BCl3==B(OCH3)3+3HCl,和BCl3的水解类似
三氯化硼-甲醇试剂(BORON TRICHLORIDE, METHANOL REAGENT 10),分子式为CH4BCl3O,1.主要用作有机反应催化剂,如酯化、烷基化、聚合、异构化、磺化、硝化等。铸镁及合金时的防氧化剂。是制备卤化硼、元素硼、硼烷、硼氢化钠等的主要原料。还用于电子工业等。 2.主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。还用于高纯硼、氮化硼、碳化硼等陶瓷材料及有机硼化物的制备,也用于金属的精炼提纯以及光导纤维、耐热涂料的制造。 3.用作半导体硅的掺杂源或有机合成催化剂,还用于高纯硼或有机硼化合物的制取。
纯氮气是半导体工业不可缺少的原料气和保护气纯氩气在单晶硅的拉制,半导体、大规模集成电路生产中是必要的
高纯氦主要用于半导体器件的生产
电子气体 (E lect ron icga ses) 半导体工业用的气体统称电子气体.按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类.特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺高纯气体主要用作稀释气和运载气.电子气体是特种气体的一个重要分支.电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,L S I(大规模集成电路)级,VL S I(超大规模集成电路)级和U L S I(特大规模集成电路)级.
掺杂气体(Dopant Gases) 在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结,电阻,埋层等.掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体.主要包括砷烷,磷烷,三氟化磷,五氟化磷,三氟化砷,五氟化砷,三氯化硼和乙硼烷等.通常将掺杂源与运载气体(如氩气和氮气)在源柜中混合,混合后气流连续流入扩散炉内环绕晶片四周,在晶片表面沉积上化合物掺杂剂,进而与硅反应生成掺杂金属而徙动进入硅.
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