美国半导体清洗标准是什么

美国半导体清洗标准是什么,第1张

美国半导体清洗标准。对切割出来的硅片进行打磨、抛光。硅片的表面会有很多大小不一的、各种各样的颗粒,包括金属沫、油污等。这些颗粒是要清洗的内容。

1、加热。假设室温20℃的情况下,用加热器将清洗溶液的温度加热到80℃,这样酸碱在高温下能加快反应,得到更好的清洗效果。

2、使用超声波产生气泡,同样能够达到吸取硅片表面杂质的目的。这种情况是在温度要求不能太高的情况下使用的。

3、震动。为了让杂质不会粘贴在硅片表面上,采用一种晃动的方式,让装有硅片的篮子在清洗溶液中充分接触溶液,增加摩擦,有效去污。

超声波清洗机的核心架构

超声波清洗机主要是由超声波发生器、清洗槽和箱体三大部份组合而成:

1.箱体:

超声波清洗机屏幕上配有电流表、电源总开关、输出电源插座、频率功率调节开关其后边配有开关电源进线电源插座及保险丝管。

2.超声波发生器:

由电源变压器及整流系统、震荡器、推动级、功率放大电路及输出变压器等构成。

3.清洗槽:

由不锈钢槽、复合型换能器和匹配电感组合而成。换能器枯敬于不锈钢槽底部,不锈钢槽与箱架之间垫有减振装置。

超声波清洗机的技术参数

1.频率:

频率≥20KHz,可分为低频,中频,高频3段。

2.清洗介质:

采用超声波清洗,一般两类清洁剂:化学溶剂、水基清洗剂等。清洗介质的化学效用,还可以加速超声波清洗效果,超声波清洗是物理作用,两种功能结合在一起,进而对物品进行深入、彻底的清洗。

3.功率密度:

功率密度=发射功率(W)/发射面积(cm2)一般≥0.3W/cm2,超声波的功率密度越大,空化效果越高,速度越来越快,清洗效果就越好。但是对于精密的、表面光滑度甚高的物品,采用长期高功率密度清洗会让物品表面产生“空化”腐蚀。

4.超声波频率:

超声波频率越少,在液体过程中产生的空化就越容易,所产生的力度不够,功能也越高,主要用于工件(粗、脏)初洗。频率高则超声波方向性强,主要用于细致的物品清洗。

5.清洗温度:

通常情况下,超声波在30℃-40℃时的空化效果最佳。清洁剂则温度高,功能越明显。一般实际应用超声波时,采用50℃-70℃的工作温度。

超声波清洗器机械故障与解决方案

1、换能器受损:

分析:很有可能超声波清洗机因长期处于开机使用情况,温度会不断上升造成胶体熔化换能器剥落或换能器陶瓷部分破裂。

检测和处理:用摇表测量换能器的绝缘强度,绝缘强度在200MΩ下列已不能使用,须更换新的换能器。

换能器的内部陶瓷也会因为长时间使用产生破裂,使之无法正常工作。

2、超声波清洗机的保险受损:

在开机后若发现无开关电源表明,无动作,首先要考虑开关电源座内保险是不是受损。

分析:很有可能是用户接地线与火线或零线混合使用,并没接地(本机地线是和机器外壳相连接),也有可能是超声波清洗机短路故障,电子元器件老化产生短路故障,造成保险受损。

检测和处理:取出保险观看,有没有破裂,使用万用表通断档测量是不是断开,进行更换器件。

3、超声波清洗机的功率管毁坏:

分析:主板上的功率管会由于超声波清洗机长期无间断使用或清洗液体太少长期使用,使功率管出现短路状况。

检测和解决:当功率管在主板上连接式,用万用表测量功率管两侧管脚的阻值,通常情况下需在22Ω以内。拿到功率管后(与主板断开连接),测量其各个管脚间应该是不通的。

4、稳压管毁坏

分析:稳压管毁坏通常在功率管阻值小或短路后,以及开机所造成的,其自身是非常少破损的。

检测和解决:按照二极管特性,正向导通,反方向截止。使用万用表二极管档测量,正向阻值70Ω以内,反方向∞。如数值误差过大或正向阻值也是∞,进行更换稳压管。

5、桥的毁坏(二极管整流电路)

分析:同稳压管情况

检测和解决:一样按照二极管特性(桥本来就是由二极管组合而成)

6、电感、隔离变压器的毁坏

分析:由于超声波清洗机长期工作,电感,变压器属于散热元件,其自身有可能会因为温度太高而熔化,毁坏,导致短路。

检测和解决:电感、变压器的毁坏,绝大多数情况下直观可以看得出烧毁的迹象,进行更换元器件。

7、控制板的毁坏(可调超声波清洗机)

分析:超声波清洗机长期连续运行,与元器件老化相关,也有和有时也会渗透到清洁液相关。

检测和解决:在超声波清洗机不启动前提下,断开控制板与主板的连接。

超声波清洗机常见故障判断

1.超声波清洗机打开电源开关,电源灯不亮。根本原因:

A.电源开关毁坏,并没有电源输进

B.保险丝ACFU熔断。

2.超声波清洗机打开电源开关后,指示灯亮,但却没有超声波输出。根本原因:

A.换能器与超声波功率板的连接插头松脱

B.保险丝DCFU熔断

C.超声功率发生器常见故障

D.换能器常见故障。

3.超声波清洗机直流保险丝DCFU熔断。根本原因:

A.整流桥堆或功率管毁坏

B.换能器常见故障。

4.超声波清洗机打开电源开关后,机器有超声波输出,但清洗效果不理想。根本原因:

A.清洗槽内清洁液液位不合理

B.超声波频率协调并没有调好

C.清洗槽内液体温度太高

D.清洁液选择不合理。

所有的东西都有其各自使用的使用寿命,我们不应该防止他们的离开,但可以延缓他们离去的时间。因此超声波清洗机的保养与维修至关重要,希望大家可以高度重视,降低没有意义的费用,造就高品质生活。

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