1 四甲基硅烷 (CH3)4Si
常用作试剂、航空燃料
2 甲基硅油
常用作介电液和热载体
油浴用的很多都是硅油
3 甲硅烷SiH4
常用作制半导体材料高纯度硅,以及硅氧烷等衍生物
做Si集成电路的fab里,你列举的这些都用的到。硅烷和笑气,长氧化硅时候用。
HCL:清洗wafer的时候用。
CF4:蚀刻Si和氧化硅的时候用。
SF6:蚀刻Si的时候用。
其他还有BCl3, Cl2, Ar差不多都是蚀刻的使用。
用途: 是制造半导体硅器件的原料,用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等制法:
硅烷的热稳定性随着分子中硅原子的增多而迅速降低。SiH4和Si2H6在400℃时开始分解,Si4H10在室温时已明显分解,Si6H14的分解速率更快。
硅烷在空气中可燃烧,生成SiO2和H2O;与卤素单质作用生成卤代硅烷,在催化剂存在下能与卤化氢作用生成卤代物。例如:
硅烷能被水分解,在微量酸或碱存在下反应速率加快:
SiH4+2H2O─→SiO2+4H2
硅烷与醇类反应,生成硅酸酯;在一些有机溶剂中或液氨中还能与碱金属、碱金属的氢化物和烷基化物进行置换或复分解反应。此外,硅烷在催化剂存在下,还能与氯仿发生氢和氯的对换作用。
硅烷最早是用硫酸或磷酸水解硅化镁Mg2Si来制备,产品是一种硅烷混合物。后来逐渐利用氢化铝锂与卤化硅在乙醚中反应来制备:
SiCl4+LiAlH4SiH4+LiCl+AlCl3
Si3Cl8+2LiAlH4Si3H8+2LiCl+2AlCl3
硅烷中的甲硅烷较重要,是热分解法制取超纯硅,生产半导体硅的原料。
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