1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。
2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。
3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。
4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。
对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗
我前几年看过一个资料,大致是你说的两种材料硅开始方法都一样,半导体级多晶硅需要进一步加工,就是将硅棒不断的从一端象另一端通过激光加热融化,这样就把杂质赶向另一端,使得纯度越来越高,直到达到半导体使用级别的多晶硅纯度要求欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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