三星半导体洁净间管理的微小颗粒尺寸

三星半导体洁净间管理的微小颗粒尺寸,第1张

微小颗粒尺寸是1.8微米

洁净间管理中Particle的粒子直径单位数量级是微米。

洁净间(无尘间、洁净室)是指具有HEPA过滤功能以从空气中去除颗粒的房间。指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间

粒子(particle),是指能够以自由状态存在的最小物质组成部分。最早发现的粒子是原子、电子和质子,1932年又发现中子,确认原子由电子、质子和中子组成,它们比起原子来是更为基本的物质组分,于是称之为基本粒子。

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