什么是特征温度和特征尺寸?

特征温度是固体的一个重要物理量，它来源于固体的原子热振动理论。特征尺寸是指半导体器件中的最小尺寸。特征温度不仅反映晶体点阵的动畸变程度，还是该物质原子间结合力的表征，物质的许多物理量都与它有关系，如d性、硬度、熔点和比热等，所以研究德拜特征温度很有必要。特征尺寸在CMOS工艺中，特征尺寸典型代表为栅的宽度，也即MOS器件的沟道长度。一般来说，特征尺寸越小，芯片的集成度越高，性能越好，功耗越低。

光刻之后腐蚀后的线宽。 单线的最小宽度。 也就是表示你的工艺线设备能做到什么程度附：特征尺寸即CPU表面电路的特征线宽，我们常说的130nm制程、90nm制程指的就是CPU的特征尺寸。特征尺寸越小，单位面积内的晶体管集成度就越高。 在微电子学中，特征尺寸通常指集成电路中半导体器件的最小尺寸，如MOS管的栅长，特征尺寸是衡量集成电路设计和制造水平的重要尺度，特征尺寸越小，芯片的集成度越高，速度越快，性能越好

---