功率半导体芯片制造中用的热、 气 ,分别指的是什么?

功率半导体芯片制造中用的热、 气 ,分别指的是什么?,第1张

半导体芯片制造过程都要很严谨的设备,包括功率作用的半导体也一样。

一般来说半导体制程中的

“热”包括:晶圆的拉晶用高温蒸镀电热管,切晶圆和功率晶粒,功能晶片的高温钻石刀,封装的高温制程有各种热导管和热熔炉,测试用的高温高压蒸馏炉箱。

“气”包括有各种氧气,氮气,酸性,碱性,活化气,钝化气,阻隔气体和促进气体。

可以。由于半导体传感器是通过通电加热的方式来满足半导体材料的工作条件,从而达到需求的敏感信号,因此半导体通电可以加热。半导体(semiconductor)指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用。


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