半导体刻蚀氨气的作用

其实家庭中的氨气主要还是来自于建筑施工中使用的混凝土外加剂，也可来自室内装饰材料，比如家具涂饰时所用的添加剂和增白剂大部分都含有氨水。特别是在冬季施工过程中，在混凝土墙体中加入的尿素和氨水为主要原料的混凝土防冻剂，这些含有大量的外加剂在墙体中随着温湿度等环境因素的变化而还原成氨气从墙体中缓慢释放出来，造成室内空气中氨的含量大量增加。 虽然这种污染释放期比较短，不会在空气中大量积存，但对人体的危害相对小一些，但也应引起大家的注意。说道氨气，第一反应就是很臭，我们家庭中洗手间是氨气浓度最高的地点，其实家庭中的氨气来源并不只是洗手间那么简单，首先我们先来了解一下氨气的性质，氨是一种无色 而具有强烈刺激性臭味的气体，氨气的溶解度极高，所以常被吸附在皮肤黏膜和眼结膜上，从而产生刺激和炎症。它对接触的组织都有腐蚀和刺激作用。可以吸收组 织中的水分，使组织蛋白变性，并使组织脂肪皂化，破坏细胞膜结构。

氨气对人体有一定的危害性，但我们不能忽视的的作用之大。首先我们详细了解下高纯氨气的性质高纯氨气是无色，有毒，碱性、强腐蚀性的可燃气体，带有刺激性气味，高浓度对眼，皮肤和黏膜有刺激。氨气的密度比空气小，在标准状况下的密度为0.7081g/L。氨气极易溶于水，在常温，常压下，一体积的水中能溶解700体积的 氨气。 液氨21.1°C的饱和蒸气压为7.78 kgf/cm2。采用40L钢瓶、43LDOT钢瓶Y罐或槽车灌装。高纯氨主要应用于新型光电子材料领域，是MOCVD技术制备GAN的重要基础材料。由GAN生产高灵敏度蓝光发光二 级管和蓝光激光器，以及其它相关电子器件，是国内外都在抢占的产业。高纯氨还是制备三氟化氮、氮化硅、的基础材料，是生产超高级氮的原料气。此外，液氨广 泛地应用于半导体工业、冶金工业，以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。

半导体的生产是有重污染的。首先，半导体工厂中会有大量的酸性气体(这些气体来自蚀刻和清洗晶圆等)。其次，由于光刻胶溶液、显影液等用量较大。用在半导体制造过程中，这些溶液主要是有机物质，所以在蚀刻，清洗、薄膜生长等过程中。将使用大量的有机溶剂，包括二甲苯、丙酮、苯、四氯化碳、四氯化碳、二氯化碳F2等。其中，苯是一种剧毒的一级致癌物。为了防止这些污染伤害员工和污染环境，半导体工厂需要采取极其严格的污染预防措施，包括工作场所空气的实时处理、生产废物的妥善处理等。可以说，如果污染治理的任何一个环节出现问题，都有可能对员工身体造成很大的伤害，也有可能对周围环境造成很大的污染。

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