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半导体一般可分为本征半导体,N型半导体以及P型半导体分别代表无杂质掺杂,掺杂N型杂质(P,As)和掺杂P型杂质(B,Ga).如果在N型衬底上扩散P型区,就叫做P阱区;如果在P型衬底上扩散N型区,就叫做N阱区;半导体中阱的作用,半导体中阱就叫做P阱区;如果在P型衬底上扩散N型区,就叫做N阱区;n阱工艺:N阱CMOS工艺采用轻掺杂P型硅晶圆片作为衬底,在衬底上做出N阱,用于制作PMOS晶体管,用激光朝量子阱闪一下,可以使中间的半导体层里产生电子和带正电的空穴CMOS 集成电路的基础工艺之一就是双阱工艺,它包括两个区域,即n-MOS和p-MOS 有源区,分别对应p阱和N阱,在进行阱注入时,产业内的主流技术多数采用倒掺杂技术来调节晶体管的电学特性,即首先采用高能量、大剂量的离子注入,注入的深度约为 1um,注入区域与阱相同,随后通过大幅降低注入能量及剂量,控制注入深度和掺杂剖面。阱的注入掺杂不仅可以调节晶体管的阈值电压,也可以解决CMOS 电路常见的一些问题,如闩锁效应和其他可靠性问题。
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