白光干涉仪的介绍

白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它是以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

白光干涉仪专用于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一。

差距是有，但是明显没有半导体那类行业这么大。

有差距的最根本原因是之前国内没有团队去涉猎这个领域。

差距并不体现在软硬件上，而是软硬件结合和应用经验。

简单的说，就是无法将客户的需求点通过软硬件快速达到客户的需求。

国外品牌设立多年，积累了众多的行业经验，他们往往比客户还懂怎么使用。

但随着国内产业尖端化，国内品牌有”家门口”的国内巨大需求资源量，相信在未来几年，会加快缩短和国外品牌的经验差距。

遂专业经验的团队和国内客户的国产化设备尝试，是缩短差距的重要因素。

国产白光干涉仪品牌“优可测”，他们有专业团队，并且不少国内行业头部客户愿意给他们的尝试机会。 会加速缩短和国外品牌的差距。

表面粗糙度仪有很多种，具体选择要根据自己参数的尺寸大小、材质、粗糙度值来确定。

一般来说粗糙度仪分为接触式和非接触式两种，接触式又有台式和手持式两种，接触式轮廓仪在机械制造行业应用最常见；非接触式主要是白光干涉仪,白光干涉仪精度最高，可以达到0.1纳米，主要用于超精密表面粗糙度测量，在半导体行业、3C行业、光学以及高等院校应用较多。

台式粗糙度仪

SJ570台式粗糙度仪是一款可大量程全自动的粗糙度测量仪器；采用进口高精度电感测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、高性能计算机控制系统技术，实现对各种工件表面粗糙度进行测量和分析。通过高精度研磨导轨、高性能直线电机保证测量的高稳定性及直线度，采用进口高精度电感测量系统建立工件表面的二维坐标，描绘出真实的原始轮廓，再按照标准对工件表面的粗糙度进行各种参数分析。

主要技术指标：

测量范围：X轴200mm，Z1轴800µm

直线度误差: 0.15µm/20mm，0.5µm/200mm

示值误差：±5%

分辨率：Z1轴0.001µm

测量速度：0.5 mm/s 、0.1 mm/s、0.05mm/S可调

手持式粗糙度仪

SJ325手持式粗糙度仪广泛应用于机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金等行业。

适用于轴类和壳体类零件

适用于大型机械和大型工件

适用于小型研磨件

适用于产线或直接在机器上测量

适用于各种工件表面的快速检测

SJ325手持式粗糙度仪主要技术指标：

白光干涉仪

SuperView W1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

SuperView W1白光干涉仪主要技术指标：

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