氧化铟锡 (ITO,或者掺锡氧化铟)是一种铟(III族)氧化物 (In2O3) and 锡(IV族)氧化物 (SnO2)的混合物,通常质量比为90% In2O3,10% SnO2。它在薄膜状时,为透明无色。在块状态时,它呈黄偏灰色。氧化铟锡主要的特性是其电学传导和光学透明的组合。然而,薄膜沉积中需要作出妥协,因为高浓度电荷载流子将会增加材料的电导率,但会降低它的透明度。氧化铟锡薄膜最通常是用电子束蒸发、物理气相沉积、或者一些溅射沉积技术的方法沉积到表面。
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