如何选择INFICON真空计

如何选择真空计

一，皮拉尼真空计

1. 皮拉尼真空计原理加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度由于气体粒子与 电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系

2. 衍生出两种类型的皮拉尼规

1) 稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度

2) 稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）

3. 气体的热传导，与下列提条件有关:

1) 气体类型 2) 压力大小

4. 皮拉尼真空计测量范围与精度测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：5 x 10-4至 1000 mbar 精度(氮气):1x 10-3… 100毫巴±15%

5. 皮拉尼真空计的优特点灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以最大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命

6. 皮拉尼真空计具体型号

皮拉尼电容膜片复合真空计

1) 有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起

2)两种原理的规管全过程都工作

3) 100 mbar—1000 mbar 使用薄膜规信号

4) 1 mbar– 100mbar 两规信号同时采用

5) 5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号

6) 输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃

7) 皮拉尼真空计应用行业 l 各种高真空泵的前级压力测量，如光伏，镀膜，等离子行业 l 各种中低真空测量，如照明，冶金 l 真空连锁控制，高真空计的点火开关控制

二，电容薄膜规

1. 电容薄膜规工作原理 l 压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系 l 通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度

2. 电容薄膜规特点 l 以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成 l 在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量 l 快速的预热和恢复时间,提高生产率 l 卓越的长期稳定性,再现性和重复性 l 由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性 l 对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定 l 快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入 准备使用状态 l 一键按钮: 调零功能和设点调整 l 抗腐蚀超纯陶瓷传感器 l 能经受数百万次压强循环周期,包括大气压 冲击,无任何降低性能的迹象 l 暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀 l 对蒸气介质不敏感 l 先进的传感器屏蔽 (专利)延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命

3.陶瓷技术 l 陶瓷技术的优越性

1) 无 “记忆” 效应

2) 陶瓷无疲劳问题

3) 最好的温度补偿

4) 卓越的零点稳定性 l 低使用成本

5) 非凡的使用寿命

6) 无需隔离阀

4. 测量范围

5. 加热型薄膜规

6. 加热型优点 l 零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境） l 更高的精度 l 环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响 l 比工艺更快的预热启动时间’ l 快速恢复时间 大气压 <1 min within 5mV l 任意安装角度 l 抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响

7. 电容薄膜规的应用要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量 l 用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的比较多，抗污染性能比较好。

三，热电离规

1. 热电离规原理 Richardson 效应: 高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子

1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出

2）离子流的大小与气体压力成比例关系

2. 两种类型热电离规

3. 热电离型复合规 l HPG400 l BPG400/-SP/-SD/SR l BPG402 l BCG450 B-A规，皮拉尼规，薄膜规三种型号复合在一起 l

4. 优点及应用 l BPG n 测量范围宽，一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000 mbar n 精度高，极好的重复性5% n 灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力，皮拉尼自锁保护，使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。 n 方便的校准调节 n 注意事项： u 对气体有选择性 u 抗污染能力弱 n 普遍应用于从低到超高真空的测量 n 在工业，半导体，研究行业应用广泛 l BPG402 n 双灯丝，大大延长使用寿命 n 电离规的工作可以自定义控制 n 探头备件自带校准参数，保证精度与重复性 l HPG400 n 电离规与皮拉尼的复合 n 皮拉尼自锁保护电离规 n 电离规的工作启动点可以一定范围内自定义 n 简易的校准功能 n 相对便宜的价格 l BCG450 n 可调的电离规工作起点 n 极佳的重复性 n 精确的大气端测量

四，冷电离规（潘宁规）

1. 冷电离规原理通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离 2. 潘宁规特点与应用 l 测量范围：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar l 全金属密封 l 无灯丝 l 易清洗 l 应用于普通的高真空测量

3. 冷规复合规MPG400特点与应用 l 冷规与皮拉尼规的复合 l 测量范围广： 5x10-9-1000 mbar l 易于保养清洗 l 无高真空灯丝， l 应用于普通高真空测量.

CVD设备是芯片制造薄膜沉积工艺的核心设备，全球市场主要由国外厂商垄断，国产替代需求强烈。”有行业内人士表示。招商证券也在研报中提出，薄膜沉积设备被海外AMAT、LAM、TEL、ASM等龙头垄断。同时，相较于清洗等其他设备，薄膜沉积市场空间更大，国内有望因此涌现出较大的成长空间。

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