半导体材料中介电常数为什么要修正

半导体材料中介电常数要修正的原因：采用连续电介质理论计入对材料介电常数的修正，利用变分法讨论半导体单异质结中界面附近的单电子束缚于施主杂质的基态结合能.对AlxGa1-xAs/GaAs和GaxIn1-xN/InN等几种半导体异质结做了数值计算，给出杂质态结合能随杂质位置的变化关系.结果表明:当杂质处于垒材料中远离界面时，介电常数的修正对结合能无明显影响。当杂质靠近界面且组成异质结的两种材料的介电常数相差较大时，计入修正后的结合能低于已有的近似结果，最大降低可达5%～6%(x=0.3)。

介电常数是反映压电智能材料电介质在静电场作用下介电性质或极化性质的主要参数，通常用ε来表示。不同用途的压电元件对压电智能材料的介电常数要求不同。

当压电智能材料的形状、尺寸一定时，介电常数ε通过测量压电智能材料的固有电容CP来确定。

根据物质的介电常数可以判别高分子材料的极性大小。通常，相对介电常数大于3.6的物质为极性物质；相对介电常数在2.8~3.6范围内的物质为弱极性物质；相对介电常数小于2.8为非极性物质。

应用

近十年来，半导体工业界对低介电常数材料的研究日益增多，材料的种类也五花八门。然而这些低介电常数材料能够在集成电路生产工艺中应用的速度却远没有人们想象的那么快。

其主要原因是许多低介电常数材料并不能满足集成电路工艺应用的要求。图2是不同时期半导体工业界预计低介电常数材料在集成电路工艺中应用的前景预测。

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