什么是半导体划片机

什么是半导体划片机,第1张

划片机:

1、 型号:DISCO DFD6240SM

2、 产地:日本

3、 市场价格:260-370万元

4、 参数:

主轴配置:2.5KW

主轴转数:60000/min

最大切割尺寸:φ12"

X轴进刀速度:1200mm/S

Z轴有效行程:38.4

Z轴重复精度:0.00002mm

θ轴最大旋转角度:380度

5、 设备特点:

高机能自动校准

主轴中心给水

高刚性低振动主轴

12”大型工作盘

轴光/环光

双倍率显微镜头

非接触式测高

安全防护机制

刀具破损检知

切割机和划片机是半导体芯片制造过程中的同一种设备,只是名称不同,没有什么区别。激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。


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