薄膜沉积是一种利用物理或化学方法在特定表面上形成薄膜的技术。它是一种利用原料分子或原子在特定表面上形成薄膜的技术。薄膜沉积可以分为物理沉积和化学沉积。物理沉积是指利用物理方法,如溅射、热蒸发、溶胶-凝胶等,在特定表面上形成薄膜的技术。而化学沉积则是指利用化学反应,如气相沉积、液相沉积等,在特定表面上形成薄膜的技术。
外延和薄膜沉积之间的关系是,外延和薄膜沉积都是用来在特定表面上形成薄膜的技术,但是它们有着不同的原理和方法。外延是一种利用物理或化学方法在特定表面上形成薄膜的技术,而薄膜沉积是一种利用物理或化学方法在特定表面上形成薄膜的技术。外延和薄膜沉积的不同之处在于,外延是一种利用原料分子或原子在特定表面
将金属薄层沉积到衬底或之前获得的薄层的技术称为表面沉积。这里的“薄”是一个相对的概念,但大多数的沉积技术都可以将薄层厚度控制在几个到几十纳米尺度的范围内,分子束外延技术可以得到单一原子层的结构。
沉积技术在光学仪器(消反射膜,减反射膜,自清洁表面等)、电子技术(薄膜电阻,半导体,集成电路)、包装和现代艺术都有应用。在对薄膜厚度要求不高时,类似于沉积的技术常常被使用。例如:用电解法提纯铜,硅沉积,铀的提纯中都用到了类似于化学气象沉积的过程。
沉积技术根据其使用的主要原理可分为两大类:物理沉积和化学沉积。
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