0.670mm左右。晶圆必须要减薄,否则对划片刀的损耗很大,而且要划两刀。我们做DIP封装,4寸晶圆要减薄到0.300mm;6寸晶圆要减薄到0.320mm左右,误差0.020mm。
楼主你可以了解下立仪科技的测厚仪,他们的设备在半导体硅片、锗、碳化硅、氮化镓、第三代半导体材料厚度,平面度,品圆翘曲,蚀刻深度、分割槽深度等领域有着非常不错的应用,而且测量数据精准可靠,仪器 *** 作也简单。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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