1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

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净化车间等级标准如下。

1、1级净化等级

这个级别的洁净度主要用于微电子工业，并且这也是当下对净化等级要求最高的行业了。这是由于集成电路非常敏感，哪怕是1微米的尘埃，也会对产品造成很大的影响，如影响产品的稳定性、短路，降低使用寿命。液晶、光纤的生产也需要这个净化等级。

2、10级净化等级

这个等级现在主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化等级仅次于1级，也属于级别比较高的。我国半导体工业处在不停发展中，未来可能对于净化等级的要求会更高。

3、100级净化等级

是最常用的净化等级，这个级别对于尘埃数和空气中细菌浓度都有着明确的要求。主要应用于医药行业的无菌制造，医学科学实验中的实验动物饲养环境，遗传工程实验等。以及外科手术、移植手术等手术室环境，对细菌敏感的病人的隔离环境、烧伤病房等一般都在100级净化工程的要求之列。

此外，100级净化工程还可用于集成电路生产。1000级净化等级：一般只对尘埃浓度做要求。主要用于高质量地生产光学器件、微型轴、承测试与装配飞机的陀螺仪等。

4、10000级净化等级

一般用于液压设备或气压设备的生产，有些情况下也用于食品饮料的生产。

5、100000级净化等级

这个级别可以用于很多要求比较低的净化工程，可用于很多工业部门生产部门，食品饮料、医药工业、零件装配常常使用这一级别的净化等级。

1000000级净化等级：这个级别是最低的，表示每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量少于100万个，可用于很多对洁净度要求不是很高的行业。如印刷厂、包装厂等等。

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