无尘室根据洁净程度不同分很多等级
目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多
数字越小,洁净等级越高
1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗
100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗
注意了,每个等级所管控的颗粒大小也不一样
一般等级从10级到100000及
10万级无尘车间标准,十万级无尘室的标淮是指:尘埃粒子最高允许数(每立方米);大或等于0.5微米的粒子数不能超出3500000个,大或等于5微米的粒子数不能超出20000个;微生物最高允许数;10万级无尘车间标准是,浮游菌数不能超出500个每立方米;沉降菌数不能超出10个每培养皿。压差:相同洁净度等级的洁净车间压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净车间之间压差要≥5Pa,洁净车间与非洁净车间之间要≥10Pa。10万级无尘室对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净服不产生舒适感为宜,温度一般控制在秋冬季20~22℃;春夏季24~26℃;波动±2℃。秋冬季洁净车间空气湿度控制在30-50%,春夏季洁净车间空气湿度控制在50-70%。配电:洁净室(区)的主要生产用地一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员洁净和物料洁净用室、气闸室、过道等的照度值宜为200~300Lx。噪声控制一、动态检测时,万级无尘室内的噪音级不得超出70分贝A。二、静态检测时,万级乱流无尘室的噪音级不能超出60分贝A。气流组织10万级无尘室主要采用的送风方式;1、局部孔板顶棚送风;2、带扩散板高效空气过滤器顶棚送风;3、上侧墙送风 等三种送风方式。10万级无尘室主要采用的回风方式;1、单侧墙下部布置回风口;2、当采用过道回风时,在过道内均匀布置回风口或在过道端部集中设置回风口。送风口风速米/秒:1、孔板孔口3~5;2、侧送风口:(1)贴附射流2~5;(2)非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5,对侧墙下部回风1.0~1.5。回风口风速(米/秒):1、无尘室回风口不超2;2、过道内回风口不超4。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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