1)首先要选择什么杂质 - 如果要掺杂成P型半导体可以选择B和BF和In.-B是最常用的 -In和BF的质量比较大,适合于浅掺杂 -BF中的F可能对HCI或者NBTI
半导体材料中杂质能级位置的不同,可以起到不同的作用,说说什么位置的浅能级杂质电离能的计算3. 杂质补偿作用 4. 深能级杂质的特点和作用 §2-2 化合物半导体中的杂质能级 1、等电子杂质2、Ⅳ族元素起两性杂质作用
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