基本原理:
用能量为100keV量级的离子束入射到材料中去,离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理的和化学的相互作用,入射离子逐渐损失能量,最后停留在材料中,并引起材料表面成分、结构和性能发生变化,从而优化材料表面性能,或获得某些新的优异性能。
离子注入的优点是能精确控制杂质的总剂量、深度分布和面均匀性,而且是低温工艺(可防止原来杂质的再扩散等),同时可实现自对准技术(以减小电容效应)。
作为一种材料表面工程技术,离子注入技术具有以下一些其它常规表面处理技术难以达到的独特优点:
纯净的无公害的表面处理技术
无需在高温环境下进行,无需热激活,不会改变工件的外形尺寸和表面光洁度
与基体之间不存在剥落问题
离子注入后无需再进行机械加工和热处理
荣欣源为客户提供大束流、中束流、高能离子源用钨钼精密部件。
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