晶圆芯片存放氮气柜标准

湿度小于40%RH。芯片是晶圆切割完成的半成品，晶圆是芯片的载体，这两件物品在所处环境的湿度过高时会导致物品被水汽腐蚀，从而导致物品损坏，因此在将该物品在氮气柜中存储时要求氮气柜中的湿度要小于40%RH。

没有固定的用量，用量是与设定值及开门的次数和时间有关。

根据氮气柜的工作原理，所以说智能氮气柜的氮气消耗量是与环境湿度值，用户的设定值及开门的次数和时间有关，与氮气流量计的大小无关，流量计的大小仅仅决定柜内实际的湿度达到设定值所消耗的时间长短有关。

氮气柜：不锈钢氮气柜设备根据应用要求，可配置不同的控制功能。被广泛应用在微电子，半导体等行业。有普通型氮气柜、控制型氮气柜、透明氮气柜三种。

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