半导体工艺废气如何高效处理？

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物，分离和处理难度比较大。

半导体酸废气处理方法

半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

新材料行业半导体废气处理的方法

RTO蓄热式焚烧炉设备，简称“RTO设备”，是采用高温破坏焚烧的废气治理技术。采用的升温能源一般是电和天然气，虽然采用高温700℃的温度进行废气处理，但其实消耗的能源并不多，这是因为设备能够将热能回收利用，大大降低能量消耗的同时提高了废气分子的燃烧反应速率。设备的主体由燃烧室、陶瓷填料床和转换阀等构成。设备的净化效率也维持稳定在99%以上。

半导体行业废气处理方法以及对比

半导体行业有机废气处理方法，通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后，再用直接燃烧法进行销毁，废气净化率达到97%以上。

直接燃烧又称为直接火焰燃烧，它是把VOCs可燃组分直接烧掉，因此该方法适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气，或者净化有害组分燃烧时热值较高的废气；多种可燃气体或多种溶剂蒸气混合在废气中，只要浓度值适宜，也可以直接燃烧。如果可燃组分的浓度高于燃烧上限，可以混入空气后燃烧；如果可燃组分的浓度低于燃烧下限，则可以加入一定数量的辅助燃料如天然气等，维持燃烧。

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尾气处理概念股票一览

尾气处理概念股：威孚高科、银轮股份、贵研铂业、博云新材

车用尿素概念股：四川美丰、建峰化工

燃油添加剂概念股：德联集团、海越股份、神开股份

油品升级相关概念股：

受益于油品质量升级主要为四个方面：加氢反应器、脱硫催化剂、车用尿素、异辛烷。

茂名石化公司是我国首套200万吨/年渣油加氢脱硫装置的开发者，曾因此获得国家科技进步一等奖，茂化实华与此关系密切。

蓝科高新原为国家一类科研院所——兰州石油机械研究所之子公司，是其发挥科研实力、实施产业化发展的载体。公司主要为客户提供石油石化设备产品的定制服务。

三维工程涉及脱硫概念，主要服务于石油化工、煤化工行业，从事以炼油化工项目为主的工程设计和总承包服务。

海越股份生产的异辛烷和四川美丰生产的车用尿素都可以改善汽车尾气排放。

银轮股份（002126）

公司拥有SCR和EGR双重业务优势，投资近亿元的“年产1万套SCR系统及年产8万套SCR转化器生产建设项目”目前已完成基建工作，国四标准如期实施即可大规模供货。另外，山东基地的5万套EGR拈、3.5万套SCR尾气转化器项目年内也将投产。同时，银轮股份与清华大学合作研发的柴油机SCR系统，已在济南汽车检测中心顺利通过达标测试，排放指标达到了国五技术指标。

海越股份（600387）

在油品升级的迫切压力下，加氢脱硫和烷基化等是关键，但加氢脱硫将降低辛烷值，而异辛烷将能有效弥补该损失，同时异辛烷也是抗爆剂中综合环保、成本和性能的最佳选择。我国烷基化油产能仅约100多万吨，潜在需求超600 万吨，市场空间广阔。

威孚高科（000581）

公司在子公司威孚力达是国内汽车尾气催化净化装置规模最大的供应商，已成功研发出各型柴油机尾气后处理系统，其柴油车尾气处理系统自制率高，有望在重型柴油车尾气处理市场占据30%-50%的份额。目前已形成年产300万升催化剂、50万套机动车尾气催化器能力。机构测算，按照目前柴油车年产销规模，每年柴油机尾气处理市场规模将达约140亿以上，其中SCR尾气处理系统市场规模为90 亿以上。

四川美丰（000731）

为缓解雾霾天气，提高汽车的燃油标准已是迫不及待。四川美丰在披露的年报中表示，国内第一条以美丰专利技术生产的年产60万吨氮氧化物还原剂生产线即将建成，可促使尾气处理、电厂脱硝等问题得到有效解决。

贵研铂业（600459）

雾霾治理将催生出高速增长的尾气催化剂市场，另一方面中国汽车尾气催化剂将在2013-2014年迎来更新高潮，预计2015年需求量将达4653万升/年，年复合增速达15.4%。与竞争对手相比，公司汽车尾气催化剂产品具备明显的竞争优势：1）通过不同金属配比实现成本控制，综合成本优势显着，成本低约20%2）铂族金属原材料有保障，能够实现部分自给，粗略测算自给率在50%左右。公司凭借其成本与原料优势，再加上战略投资者的引入，销售渠道已逐步打开，目前公司汽车尾气催化剂产品已成功进入某些德资和法资品牌的供应体

深圳沃飞科技作为一家专业从事气体系统工程设计安装、技术服务咨询和配套产品生产销售为一体的国家高新技术企业，在行业内拥有一定的名气，他们能够为客户提供大宗气体系统、电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、洁净气体管道、高纯化学品供液系统、Local Scrubber尾气处理系统及机电工程安装等工程项目设计安装交钥匙式高性能和高质量的解决方案。工程项目覆盖半导体、集成电路、光电、新能源、微电子、光纤、生物医药、科研所、标准检测、高校院校等高技术领域行业。 。如果我的回答能够对您有帮助的话，请采纳

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