1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

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无尘车间的等级一般分为：一级、十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级。以千级无尘车间为例：千级无尘车间要求室内0.5um的容许粒子浓度小于35200（pc/m）。1、一级无尘车间主要适用于制作集成电路的微电子工业，对集成电路的精准需求为亚微米。2、十级无尘车间多用于带宽小于2微米的半导体行业。3、百级无尘车间在医疗领域多适用于对洁净要求高的手术区域。4、千级无尘车间主要用于高质量光学产品的生产研发与安装测试。5、万级无尘车间主要用于液压设备或气压设备的安装，同时也能用于食品加工行业。6、十万级无尘车间多用于工业部门，如光学商品的制作等。医药工业也常常采用该等级无尘室。

无尘是装修施工是按照不同行业，不同行业里面的不同要求来定的洁净级别，下面一起看看无尘车间不同行业的不同洁净级别要求大概是什么样的

1.1级：主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的精确要求为亚微米。

2.10级：主要用于带宽小于2微米的半导体工业。

3.100级：可用于医药工业的无菌制造工艺等，这一洁净室大量应用于植如体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗，比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。

4.1000级：主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。

5.10000级：用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用。

6.100000级：适用于多种工业部门，比如光学产品及电子产品的制造。

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