钛镍银金属半导体硅片制作过程毒性大吗?

钛镍银金属半导体硅片制作过程毒性大吗?,第1张

钛镍银多层金属电力半导体器件电极的制备方法,其先用真空电子束蒸发方式按序分别将钛镍银三种金属沉积在硅片的电极面上,然后用烧结炉将所述硅片在真空高温下形成高性能的钛镍银多层金属电极,它稳定性强,导电性好,使用寿命高,并能增加器件的通态能力和可靠性.

钛金属对人无害。

钛具有“亲生物“’性。在人体内,能抵抗分泌物的腐蚀且无毒,对任何杀菌方法都适应。因此被广泛用于制医疗器械,制人造髋关节、膝关节、肩关节、胁关节、头盖骨,主动心瓣、骨骼固定夹。当新的肌肉纤维环包在这些“钛骨”上时,这些钛骨就开始维系着人体的正常活动。

钛在人体中分布广泛,正常人体中的含量为每70kg体重不超过15mg,其作用尚不清楚。但钛能刺激吞噬细胞,使免疫力增强这一作用已被证实。镍及其水溶性化合物具有致敏性,某些镍化合物具有潜在致癌性。

相对来说,银对人体的毒性很小,这是因为银的化学性质不活波,很难与物质发生反应。但也有杀菌的作用。

主权项:

一种钛镍银多层金属电力半导体器件电极的制备方法,其特征在于该方法包括以下步骤:

(1)将硅片夹置在电子束蒸发台中的旋转工件盘上,将纯度均为99.99%以上的钛、镍、银三种材料分别放置在电子束蒸发台坩埚中的三个穴位中;

(2)关闭电子束蒸发台工作室门,抽真空至1.0×10-3Pa,加热升温至200℃;

(3)先将坩埚中装有钛材料的穴位处于工作位置,打开电子束高压开关,调整电子束电流至800mA,蒸发10-15分钟,使硅片的电极面上沉积一层钛金属;然后关断电子束高压开关,调整坩埚中装有镍材料的穴位处于工作位置,打开电子束高压开关,调整电子束电流至800mA,蒸发30-35分钟,使所述钛金属层上沉积一层镍金属;然后关断电子束电流,调整坩埚中装有银材料的穴位处于工作位置,打开电子束高压开关,调整电子束电流至800mA,蒸发30-35分钟,使所述镍金属层上沉积一层银金属;

(4)电子束蒸发台工作室停止加热,降温至100℃时停止抽真空,打开放气阀,取出沉积上钛镍银多层金属的硅片;

(5)将上述硅片放进烧结炉中,抽真空至2.0×10-3Pa,套上炉体,升温至600℃,恒温60分钟;

(6)移开炉体,降温至200℃时停止抽真空,打开放气阀,取出硅片,降至常温,得到钛镍银多层金属电力半导体器件电极。

新型高压SBD的结构和材料与传统SBD是有区别的。传统SBD是通过金属与半导体接触而构成。金属材料可选用铝、金、钼、镍和钛等,半导体通常为硅(Si)或砷化镓(GaAs)。由于电子比空穴迁移率大,为获得良好的频率特性,故选用N型半导体材料作为基片。为了减小SBD的结电容,提高反向击穿电压,同时又不使串联电阻过大,通常是在N+衬底上外延一高阻N-薄层。其结构示图如图1(a),图形符号和等效电路分别如图1(b)和图1(c)所示。在图1(c)中,CP是管壳并联电容,LS是引线电感,RS是包括半导体体电阻和引线电阻在内的串联电阻,Cj和Rj分别为结电容和结电阻(均为偏流、偏压的函数)。  大家知道,金属导体内部有大量的导电电子。当金属与半导体接触(二者距离只有原子大小的数量级)时,金属的费米能级低于半导体的费米能级。在金属内部和半导体导带相对应的分能级上,电子密度小于半导体导带的电子密度。因此,在二者接触后,电子会从半导体向金属扩散,从而使金属带上负电荷,半导体带正电荷。由于金属是理想的导体,负电荷只分布在表面为原子大小的一个薄层之内。而对于N型半导体来说,失去电子的施主杂质原子成为正离子,则分布在较大的厚度之中。电子从半导体向金属扩散运动的结果,形成空间电荷区、自建电场和势垒,并且耗尽层只在N型半导体一边(势垒区全部落在半导体一侧)。势垒区中自建电场方向由N型区指向金属,随热电子发射自建场增加,与扩散电流方向相反的漂移电流增大,最终达到动态平衡,在金属与半导体之间形成一个接触势垒,这就是肖特基势垒。

在外加电压为零时,电子的扩散电流与反向的漂移电流相等,达到动态平衡。在加正向偏压(即金属加正电压,半导体加负电压)时,自建场削弱,半导体一侧势垒降低,于是形成从金属到半导体的正向电流。当加反向偏压时,自建场增强,势垒高度增加,形成由半导体到金属的较小反向电流。因此,SBD与PN结二极管一样,是一种具有单向导电性的非线性器件。

Li、Cs、

Rb、

K、Ra、Ba、Fr、Sr、

Ca、

Na

、Ac、

La、

Ce、

Pr

、Nd

、Pm锂、铯、

铷、

钾、镭、钡、钫、锶、

钙、

钠、

锕、

镧、

铈、

镨、钕、

钷、Sm

、Eu、

Gd

、Tb

、Y

、Mg

、Dy、

Am

、Ho、

Er

、Tm

、Yb、

Lu

、(H)、

Sc、

Pu

、Th

、Np

、Be

钐、铕、钆、铽、钇、镁、镅、镝、钬、铒、铥、镱、镥、(氢)、钪、钚、钍、镎、铍、U、

Hf

、Al

、Ti

、Zr

、V

、Mn、

Nb、

Zn、

Cr

、Ga

、Fe

、Cd

、In

、Tl

、Co铀、铪、铝、钛、锆、钒、锰、铌、锌、铬、镓、铁、镉、铟、铊、钴、Ni、

Mo、

Sn

、Pb

、(D2)、

(H2)、

Cu、

Tc、

Po、

Hg

、Ag、

Rh

、Pd

、Pt

、Au镍、钼、锡、铅、(氘分子)、(氢分子)、铜、锝、钋、汞、银、铑、钯、铂、金

切记

!金属活动性和反应的

剧烈程度无关!

大多数人认为铯与水反应会爆炸,而锂与水反应很平和,误以为铯比锂活泼

,但这种观点是错误的。

金属活动性只和其

电极电势有关

和剧烈程度无关

。因此,

锂是活动性最强的金属。

所以只有铝会溶解,因为就它是氢前金属!如果四者绑在一起那么会形成原电池使得铝溶解得更快且气体在其它三者金属上冒出!


欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出

原文地址: http://outofmemory.cn/dianzi/9204134.html

(0)
打赏 微信扫一扫 微信扫一扫 支付宝扫一扫 支付宝扫一扫
上一篇 2023-04-25
下一篇 2023-04-25

发表评论

登录后才能评论

评论列表(0条)

保存