半导体表面材料清洗为什么先用一号液

半导体表面材料清洗为什么先用一号液,第1张

半导体材料表面的污染物主要有二类:有机污染物和金属离子污染。一号液主要是清除有机污染物如油脂等的,二号液则主要清除金属离子污染。只有先清除材料表面覆盖的油污,才能彻底清除油污下面的离子污染物。所以应该先用一号液清洗,然后再用二号液清洗。

(1)原子中,离原子核越远的电子层其能量越高,所以Si原子中M电子层能量最高;该原子中含有3个s轨道、6个p轨道,所以一共有9个轨道,

答案为:M;9;

(2)硅属于亲氧元素,在自然界中不能以单质存在,主要以二氧化硅和硅酸盐存在,故答案为:二氧化硅;

(3)硅单质中硅硅之间以共价键结合,硅晶胞中每个顶点上有1个Si、面心是有1个Si、在晶胞内部含有4个Si原子,利用均摊法知,面心提供的硅原子个数=6×

1
2
=3,

故答案为:共价键;3;

(4)可使湿润的红色石蕊试纸变蓝的气体是氨气,再根据元素守恒知还生成氯化镁MgCl2,所以反应方程式为:Mg2Si+4NH4Cl=SiH4↑+4NH3↑+2MgCl2,

故答案为:Mg2Si+4NH4Cl=SiH4↑+4NH3↑+2MgCl2;

(5)①键能越大形成的化学键越稳定,C-C键和C-H键的键能大于Si-Si键和Si-H键的键能,所以

C-C键和C-H键较强,所形成的烷烃稳定,而硅烷中Si-Si键和Si-H键的键能较低,易断裂,导致长链硅烷难以生成,故答案为:C-C键和C-H键较强,所形成的烷烃稳定,而硅烷中Si-Si键和Si-H键的键能较低,易断裂,导致长链硅烷难以生成;

②键能越大形成的化学键越稳定,CC-H键的键能大于Si-H键的键能,而Si-H键的键能却远小于Si-O键,所以Si-H键不稳定而倾向于形成稳定性更强的Si-O键,

故答案为:C-H键的键能大于C-O键,C-H键比C-O键稳定,而Si-H键的键能却远小于Si-O键,所以Si-H键不稳定而倾向于形成稳定性更强的Si-O键;

(6)根据图片知,每个三角锥结构中Si原子是1个,O原子个数=2+2×

1
2
=3,所以硅原子和氧原子个数之比=1:3,3个O原子带6个单位负电荷,每个硅原子带4个单位正电荷,所以形成离子为[SiO3]n2n- (或SiO32-),

故答案为:1:3;[SiO3]n2n- (或SiO32-).


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