半导体工业中的最小线宽指的是FET中源极到漏极的距离么?也就指的是栅极的宽度?

半导体工业中的最小线宽指的是FET中源极到漏极的距离么?也就指的是栅极的宽度?,第1张

MOS工艺中最小线宽又叫特征尺寸,在设计时,常指的是MOSFET的栅极的长度L,理论上来说,栅极的长度就是它所控制的沟道长度(即漏极与源极之间的距离),但实际上,由于在源极与漏极进行掺杂时存在横向扩散,所以L其实是导电沟道的长度,在标准MOS工艺中,往往栅极会把沟道整个盖住,所以栅长是比沟道长度稍大一些的。

现在主流的集成电路芯片的线宽是65nm以下,甚至45nm,32nm都已经比较常见了。集成电路芯片是包括一硅基板、至少一电路、一固定封环、一接地环及至少一防护环的电子元件。

路形成于硅基板上,电路具有至少一输出/输入垫。固定封环形成于硅基板上,并围绕电路及输出/输入垫。接地环形成于硅基板及输出/输入垫之间,并与固定封环电连接。防护环设置于硅基板之上,并围绕输出/输入垫,用以与固定封环电连接。

集成电路是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构;其中所有元件在结构上已组成一个整体,使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。

半导体禁带宽度是指半导体材料的能带宽度,也就是半导体材料中电子和空穴的能带宽度。它是由半导体材料的光学带隙值决定的,即半导体材料的能带宽度等于其光学带隙值。一般来说,半导体材料的能带宽度最小为200meV,最大可达500meV。因此,半导体禁带宽度的最小值是200meV,最大值是500meV。


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