生物MEMS与传感器是指采用以MEMS为代表的微纳制造技术实现生物医学应用的传感器、执行器及微系统，其利用生物要素与物理化学检测要素组合在一起对被分析物进行 *** 纵和检测。生物MEMS的内涵与微流控（Mi

传统的封装技术已难以满足飞速发展的电子信息系统的高密度集成需求，随着先进封装技术的发展，射频微系统成为小型化电子产品的重要组成部分，可以在微纳尺度下实现高性能电子系统，为电子信息设备多方面的技术变革提