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基于NDIR原理的热电堆气体传感器的工作原理解析
非分散红外(NDIR)光谱仪常被用来检测气体和测量碳氧化物(例如一氧化碳和二氧化碳)的浓度。一个红外光束穿过采样腔,样本中的各气体组分吸收特定频率的红外线。通过测量相应频率的红外线吸收量,便可确定该气
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CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器
本文实现了一种正面开口的热电堆结构,采用XeF2作为工作气体干法刻蚀工艺释放器件。相对于刻蚀硅,XeF2气体对铝等材料的刻蚀速率极小,这样就可以采用标准CMOS工艺中最常用的材料,如PolyAl 构
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热电堆传感器是什么东西_热电堆传感器是干什么用的
热电堆传感器是什么东西热电堆是一种热释红外线传感器,它是由热电偶构成的一种器件。它在耳式体温计、放射温度计、电烤炉、食品温度检测等领域中,作为温度检测器件获得了广泛的应用。热电堆传感器工作原理被红外线