卧式扩散炉工作原理是一系列的化学反应。因为二氧化硅被广泛用于半导体元器件的保护层和钝化层，在含氧气的环境下，氧分子将通过一层边界层到达二氧化硅的表面，并与硅原子反应生成二氧化硅，与此同时，氧化剂扩散的方式通过二氧化硅与硅原子反应生成新的二氧

[拼音]：Libi[外文]：Willard Frank Libby (1908～1980)美国放射化学家。1908年12月17日生于科罗拉多州格兰德瓦利，1980年9月8日卒于加利福尼亚州洛杉矶。19

[拼音]：reyuanzi fanying jili[外文]：hot atom reaction mechanism对核转变过程中高能热原子逐步丢失能量的过程及发生化学反应的历程的描述。它是热原子化学

[拼音]：Libi[外文]：Willard Frank Libby (1908～1980)美国放射化学家。1908年12月17日生于科罗拉多州格兰德瓦利，1980年9月8日卒于加利福尼亚州洛杉矶。19

[拼音]：reyuanzi fanying jili[外文]：hot atom reaction mechanism对核转变过程中高能热原子逐步丢失能量的过程及发生化学反应的历程的描述。它是热原子化学

[拼音]：Libi[外文]：Willard Frank Libby (1908～1980)美国放射化学家。1908年12月17日生于科罗拉多州格兰德瓦利，1980年9月8日卒于加利福尼亚州洛杉矶。19