Keithley S540功率半导体测试系统

“许多铸造厂正使用定制的混合测试系统，来执行功率半导体测试，在从低压测试转向高压测试时，这要求手动改变测试设置。正如大家预想的一样，这会增加工艺步骤，延缓生产速度。相比之下，S540是一种完整的全集成解决方案，特别适合必须迅速测试各种器件的生产环境。”

Keithley S540功率半导体测试系统，是为高达3kV的功率半导体器件和结构提供的一种全自动48针参数测试系统。全集成S540是为用于最新复合功率半导体材料而优化的，包括金刚砂（SiC）和氮化镓（GaN），可以在一个探头接入中执行所有高压测试、低压测试和电容测试。

随着对功率半导体器件的需求不断提高，同时也随着SiC和GaN日益商业化，制造商正在生产工艺中采用晶圆级测试，以优化良品率，改善盈利能力。对这些应用，S540最大限度地缩短了测试时间和测试设置时间，减少了占用空间，同时实现了实验室级高压测量性能，降低了拥有成本。

为提供生产级性能，S540可以在最多48针上执行参数测量，而不用改变电缆或探头插件设施。它还可以执行高达3kV的晶体管电容测量，如Ciss、Coss和Crss，而无需手动重新配置测试引脚。S540还提供了pA级测量性能，可以在不到1秒内执行全自动高压泄漏电流测试，进一步提升了测试产出。

作为标准商业产品，S540提供了可以全面追踪的系统指标，满足安全规范，并提供了诊断功能及全球服务和支持，而内部开发或定制的系统经常会缺失这些功能。S540秉承吉时利30余年的半导体参数测试经验，把行业领先的半导体测试仪器与高低压开关矩阵、线缆、探头插件适配器、探头驱动器和测试软件整合在一起。