硅片上所谓的层数是什么意思

硅片上所谓的层数是什么意思,第1张

硅片上所谓的层数的意思是:

芯片布图上的每一层图案用不同颜色标示。对应每一层的图案,制造过程会在硅晶圆上制做出一层由半导体材料或介质构成的图形。把这些图形层称之为材料介质层。例如P型衬底层、N型扩散区层、氧化膜绝缘层、多晶硅层、金属连线层等。

芯片布图有多少层,制造完成后的硅晶圆上基本就有多少材料介质层。根据工艺安排,材料介质层的层数也许还会有增加。

芯片制造就是按照芯片布图,在硅晶圆上逐层制做材料介质层的过程。材料介质层在硅晶圆上叠加在一起,就形成了整个芯片上,乃至整个硅晶圆上所有的电路元器件。它们主要包括晶体管(三极管)、存储单元、二极管、电阻、连线、引脚等。

这些电路元器件从材料介质层的角度上看是有结构的、立体的。但是,电路元器件是平面分布在硅片上,乃至整个硅晶圆上,它们是二维(2D)分布的,是一个平面层。本文把硅晶圆上的电路元器件层称之为电路层。这样的芯片裸片封装起来就是早期传统的平面芯片(2D芯片)。

你好请问是问场板下介质层的作用是什么吗?场板下介质层的作用是分压。场板下的介质层起着分压的作用,控制着引入半导体表面电场的强弱,因此场板结构能够有效改善靠近表面的耗尽区的造型,从而提高击穿电压。

半导体电性异常与制程的关系如下。一种半导体器件的制造方法,获取预处理半导体结构,预处理半导体结构包括具有第一暴露面的金属层,金属层第一暴露面具有凸起部。在金属层第一暴露面设置保护层,保护层至少覆盖金属层除凸起部以外的其它部分。去除凸起部以在金属层上形成金属层的第二暴露面。在第一暴露面的所在区域上形成介质层,且介质层完全覆盖第一暴露面的所在区域。本发明提供的半导体器件的制造方法通过在金属层除凸起部的其它部位上覆盖保护层保护金属层。蚀刻掉凸起部,对半导体器件的金属层表面进行修整,避免凸起部影响半导体器件的后续制程,在金属层上覆盖保护层,使得半导体器件的表面平整,更有利于半导体器件的后续制程,方法简单,便于实施。


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