三氯化铁蚀刻加工的原理是怎样的？

三氯化铁蚀刻液是使用非常广泛的蚀刻液类型，其蚀刻的原理是利用三价铁离子的氧化性在酸性的溶液里跟被蚀刻的金属发生氧化还原反应，从而使金属离子脱离工件进入溶液完成蚀刻过程。跟其他蚀刻液相比，具有成本较低，容易控制，气味相对较小，废液可以再生等特点。当然，三氯化铁蚀刻液并非万能，有些金属或者合金要通过其他类型的蚀刻液来完成，对于一些特殊的蚀刻要求，三氯化铁也不能完全满足需要，我们要根据不同的蚀刻对象，蚀刻要求来选择合适类型的蚀刻液。

无污染：不用酸、碱溶液只需普通自来水为蚀刻主体。绝无环境污染对人体无伤害。是符合新世纪潮流的绿色产品。加工精度高：可加工各种精细图案、微小字标。蚀刻面积不限：大型装饰牌可提机现场加工。加工速度快：是传统酸腐蚀工艺的20倍。三氯化铁蚀刻液对铜箔的蚀刻是一个氧化－还原过程。在铜表面Fe3 使铜氧化成氯化亚铜。同时Fe3 被还原成Fe2 。

FeCl3＋Cu →FeCl2＋CuCl CuCl具有还原性，可以和FeCl3进一步发生反应生成氯化铜。FeCl3＋CuCl →FeCl2＋CuCl2 ,Cu2 具有氧化性，与铜发生氧化反应：,CuCl2＋Cu →2CuCl，所以，FeCl3蚀刻液对Cu的蚀刻时靠Fe3 和Cu2 共同完成的。其中Fe3 的蚀刻速率快，蚀刻质量好；而Cu2 的蚀刻速率慢，蚀刻质量差。新配制的蚀刻液中只有Fe3 ，所以蚀刻速率较快。但是随着蚀刻反应的进行，Fe3 不断消耗，而Cu2 不断增加。当Fe3 消耗掉35％时，Cu2 已增加到相当大的浓度，这时Fe3 和Cu2 对Cu的蚀刻量几乎相等；当Fe3 消耗掉50％时，Cu2 的蚀刻作用由次要地位而跃居主要地位，此时蚀刻速率慢，即应考虑蚀刻液的更新。

蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。通常所指蚀刻也称光化学蚀刻（photochemical etching），指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。

---