半导体干刻工艺?

半导体干刻工艺?,第1张

刻蚀技术可分为湿式刻蚀(wet etching)和干式刻蚀(dry etching)两种技术。第五章中已经对湿式刻蚀进行了较详细的介绍。湿式刻蚀具有待刻蚀材料与光阻及下层材质良好的刻蚀选择比(selectivity)。然而,由于化学反应没有方向性,因而湿式刻蚀是各向同性刻蚀。当刻蚀溶液做纵向刻蚀时,侧向的刻蚀将同时发生,进而造成底切(Undercut)现象,导致图案线宽失真。

主要是对硅晶片(Si

wafer)的一系列处理

1、清洗

->

2、在晶片上铺一层所需要的半导体

->

3、加上掩膜

->

4、把不要的部分腐蚀掉

->

5、清洗

重复2到5就可以得到所需要的芯片了

Cleaning

->

Deposition

->

Mask

Deposition

->

Etching

->

Cleaning

1、中的清洗过程中会用到硝酸,氢氟酸等酸,用于清洗有机物和无机物的污染

其中Deposition过程可能会用到多种器材,比如HELIOS等~

Mask

Deposition过程中需要很多器材,包括Spinner,Hot

plate,EVG等等~

根据材料不同或者需要的工艺精度不同,Etching也分很多器材,可以使用专门的液体做Wet

etch,或者用离子做Plasma

Etching等

最后一部的Cleaning一般是用Develpoer洗掉之前覆盖的掩模~

多数器材都是Oxford

Instruments出的

具体建议你去多看看相关的英文书,这里说不清楚。。

应用程序发生异常 未知的软件异常

1.病毒木马造成的,在当今互联网时代,病毒坐着为了获得更多的牟利,常用病毒绑架应用程序系统文件,然后某些安全杀毒软件把被病毒木马感染的应用程序和系统文件当病毒杀了导致的。

2.应用程序组件丢失,应用程序完整的运行需要一些系统文件或者某些ll文件支持的,如果应用程序组件不完整也会导致的。

3.系统文件损坏或丢失,盗版系统或Ghost版本系统,很容易出现该问题。

4. *** 作系统自身的问题, *** 作系统本身也会有bug 。

5.硬件问题,例如内存条坏了或者存在质量问题,或者内存条的金手指的灰尘特别多。


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原文地址: https://outofmemory.cn/dianzi/7557876.html

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