各种行业常见的易燃有毒有害气体?

各种行业常见的易燃有毒有害气体?,第1张

保时安气体检测仪可检测以下气体:农业: 缺氧或富氧、氨气、二氧化碳、一氧化碳、硫化氢、一氧化氮、二氧化氮、磷化氢、光气航空业: 可燃气体、缺氧或富氧、一氧化碳、有机蒸汽化工业: 可燃气体、缺氧或富氧、氨气、一氧化碳、氯气、硫化氢、二氧化硫、灰尘和微粒、有机蒸汽、光气、氰化氢 建筑业: 可燃气体、缺氧或富氧、一氧化碳、硫化氢、灰尘和微粒、有机蒸汽消防: 可燃气体、缺氧或富氧、二氧化碳、一氧化碳、氯气、硫化氢、灰尘和微粒、有机蒸汽 食品加工业: 缺氧或富氧、氨气、二氧化碳、一氧化碳、硫化氢、磷化氢铸造业: 可燃气体、缺氧或富氧、一氧化碳、硫化氢、二氧化硫、灰尘和微粒危险物质: 可燃气体、缺氧或富氧、氨气、一氧化碳、氯气、甲醛、硫化氢、磷化氢、二氧化硫、有机蒸汽 重工业: 可燃气体、一氧化碳、有机蒸汽钢铁冶金: 可燃气体、缺氧或富氧、一氧化碳、硫化氢、一氧化氮、二氧化氮、二氧化硫、灰尘和微粒、有机蒸汽、光气、氰化氢矿业:可燃气体、缺氧或富氧、一氧化碳、二氧化碳、硫化氢、一氧化氮、二氧化氮、灰尘和微粒、氰化氢核工业:可燃气体、缺氧或富氧、一氧化碳石油石化:可燃气体、缺氧或富氧、氨气、一氧化碳、硫化氢、灰尘和微粒、有机蒸汽纸浆业:氯气、二氧化氯、硫化氢、二氧化硫、灰尘和微粒、有机蒸汽制药业: 可燃气体、缺氧或富氧、氨气、氯气、甲醛、硫化氢、磷化氢、二氧化氯半导体业:氨气、氯气、一氧化氮、二氧化氮、硫化氢、有机蒸汽航海造船业:可燃气体、缺氧或富氧、一氧化碳、二氧化碳、硫化氢、灰尘和微粒喷漆: 可燃气体、甲醛、灰尘和微粒、有机蒸汽公用事业:可燃气体、缺氧或富氧、一氧化碳、二氧化碳、一氧化氮、二氧化氮、硫化氢、二氧化硫水处理业:可燃气体、缺氧或富氧、氨气、一氧化碳、氯气、硫化氢、臭氧、二氧化硫焊接行业: 可燃气体、缺氧或富氧、一氧化碳、一氧化氮、二氧化氮、臭氧、灰尘和微粒

对身体有害。

半导体产业属于重污染企业,工厂内会有大量的酸性气体。这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程。如HCl、HNO3、NH4OH等气体都很容易产生大量的浓烟,这些烟雾中含有刺激性且含毒性的NO2等等。

由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等,这些溶液主要是有机物质,因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中,会有大量的有机溶剂被使用,其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等等,其中苯就是高毒性的一级致癌物。

半导体工厂对有害物质实施的措施

为了防止这些污染伤害员工、污染环境,半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施,包括实时处理工作场所的空气、妥善处理生产废料。

尤其是快速发展的亚微米工艺对生产现场的空气洁净度要求特别高,所有半导体加工设备都必须放置在与灰尘隔离的封闭空间中,即为洁净室。

洁净室的洁净度有一个公认的标准,以10类为例,是指在单位立方英寸的洁净室空间内,平均只有10个粒径在0.5微米以上的粉尘,所以Class数越少,清洁度越好,当然成本也越贵。同时,也是洁净室设备厂商保证洁净空间安全、舒适、节能、高效。

√ 楼主您好,根据您提出的问题,下面为您做详细解答:

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水,净化废气,并回收废气分解时所释放出来的热量,废气分解效率达到99%以上,热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉(TO)→烟囱排气达标排放。

希望此次回答对您有所帮助!


欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出

原文地址: https://outofmemory.cn/dianzi/8961235.html

(0)
打赏 微信扫一扫 微信扫一扫 支付宝扫一扫 支付宝扫一扫
上一篇 2023-04-23
下一篇 2023-04-23

发表评论

登录后才能评论

评论列表(0条)

保存