半导体用的石英管为什么需要低铝含量

半导体用的石英管为什么需要低铝含量,第1张

半导体中,石英管通常用于高温环境下的热氧化或热扩散。要求低铝含量的原因如下:

1、热氧化热扩散主要是半导体器件形成源漏结的关键步骤,不能有金属离子污染。

2、高温环境可达1000多摄氏度,铝容易硅化,会造成器件结区损伤,容易漏电。

半导体沟槽宽度

半导体沟槽宽度可以从几种角度来考虑,如材料类型、应用、制造工艺等。

1. 材料类型:半导体沟槽的宽度取决于所使用的半导体材料,不同的材料具有不同的物理性质,因此沟槽的宽度也不同。例如,硅沟槽的宽度可以达到几十纳米,而碳纳米管沟槽的宽度可以达到几百纳米。

2. 应用:半导体沟槽的宽度也取决于其应用。例如,用于高频电路的沟槽宽度要比用于低频电路的沟槽宽度小。

3. 制造工艺:半导体沟槽的宽度也取决于制造工艺,例如用于制造沟槽的光刻工艺,其最小的沟槽宽度可以达到几百纳米。


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