真空系统的简介

真空系统。是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

1、真空热处理可实现无氧化、无脱碳、无渗碳加热。

2、有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。

3、零件经真空热处理后，畸变小，质量高。

4、基本上无公害。

4、真空加热炉可在较高温度下工作。

5、某些化学热处理，如渗碳、渗氮、渗铬、渗硼，以及多元共渗速度较快，省时间，效率较高。

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