半导体车间都是无尘车间吗

半导体车间是无尘车间。

电子制造业无尘车间洁净室的特点:洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求极其严格。

其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。

一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（特殊洁净车间有相关温湿度规定）。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。

1，集成电路的加工是需要在极高清洁度的无尘环境中实现，这是因为在纳米级的加工精度上，一粒灰尘的面积相对于电路来说也是巨大的，而每个被灰尘污染的电路都会导致不能正常工作。

2，集成电路的加工，精度要求最高的是基于掩膜的光刻工序，这个工序是在特定波长的光照下实现的，普通的光线会影响光刻的效果，导致沟道不规则而导致电路性能不良。

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