ep电解抛光管在半导体生产中有什么作用

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半导体器件经过电解抛光处理后表面会产生钝化层,改善耐腐蚀性。有效去除毛边,提高不锈钢的抗腐蚀能力、抗指纹效果,增加亮度。使不锈钢表面更加美观大方。电抛光有整平作用又能除去表面夹杂物。

半导体钝化层就是在半导体器件表面覆盖保护介质膜,以防止表面污染的工艺。

钝化层作用是能长期阻止有害杂质对器件表面的沾污;热膨胀系数与硅衬底匹配;膜的生长温度低;钝化膜的组份和厚度均匀性好;针孔密度较低以及光刻后易于得到缓变的台阶。


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