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ic一般生成为P-SI, LTPS和TFT 一般是a-si, LTPS 再将a-si激光退火为P-si。SiH4+NH3生成物为a-si,SiH4+N2O产物为SIO2,用的不是同一层,IC,LTPS,TFT都有好多层。不同层不一样。折射率与a-Si膜的含氢量、致密程度相关。一般随着含氢量的减少和致密度的提高,折射率增大。在太阳能电池应用方面,需要知道a-Si的折射率,以由于光学匹配方面的计算,比如用来确定后续减反射膜的膜厚和折射率等。
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688082股票股吧
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2023-04-25
线切割怎样加工半导体,或特殊情况下还能加工绝缘体?怎么加工的啊?高手请指点!
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2023-04-25
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