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IMEC公司
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IMEC开发新型电介质,推动20nm NAND Flash进一步微缩
比利时微电子研究中心IMEC的研究人员们已经开发出一种纳米级的氧化铝铪电介质(HfAlOAl2O3HfAlO)堆迭,这种具氮化硅氮化钛混合浮闸的闸间电介质可用于平面 NAND Flash 结构中
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2022-8-3
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